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1. (WO2017133960) ARRANGEMENT AND METHOD FOR WAVEFRONT ANALYSIS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2017/133960 International Application No.: PCT/EP2017/051637
Publication Date: 10.08.2017 International Filing Date: 26.01.2017
IPC:
G01J 9/00 (2006.01) ,G01J 1/04 (2006.01) ,G01J 1/42 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
J
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
9
Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
J
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1
Photometry, e.g. photographic exposure meter
02
Details
04
Optical or mechanical part
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
J
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1
Photometry, e.g. photographic exposure meter
42
using electric radiation detectors
Applicants:
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastraße 27c 80686 München, DE
WESTSÄCHSISCHE HOCHSCHULE ZWICKAU [DE/DE]; Dr.-Friedrichs-Ring 2A 08056 Zwickau, DE
Inventors:
HARTMANN, Peter; DE
BASELT, Tobias; DE
KABARDIADI, Alexander; DE
Agent:
PFENNING, MEINIG & PARTNER MBB; An der Frauenkirche 20 01067 Dresden, DE
Priority Data:
10 2016 201 485.401.02.2016DE
Title (DE) ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR WELLENFRONTANALYSE
(EN) ARRANGEMENT AND METHOD FOR WAVEFRONT ANALYSIS
(FR) ENSEMBLE ET PROCÉDÉ D’ANALYSE DE FRONT D’ONDE
Abstract:
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung und ein Verfahren zur Wellenfrontanalyse mit einer Strahlungsquelle (8), die eine zu analysierende elektromagnetische Wellenfront elektromagnetischer Strahlung (1) emittiert, einer ortsauflösenden Detektoreinheit (4, 4a, 4b, 4c) zum Detektieren der elektromagnetischen Wellenfront und einer mit der Detektoreinheit (4, 4a, 4b, 4c) verbundenen elektronischen Auswerteeinheit (5, 7). Die mindestens einer Strahlführungseinheit (3) zum Führen der elektromagnetischen Strahlung (1), die nur diffraktiv und/oder reflektierend ausgebildet ist, weist mindestens eine Öffnung (3a, 3b, 3c) auf und die Detektoreinheit (4, 4a, 4b, 4c) ist in Ausbreitungsrichtung der elektromagnetischen Strahlung (1) hinter der mindestens einen Öffnung (3a, 3b, 3c) der Strahlführungseinheit (3) zum Detektieren eines Beugungsmusters der an der mindestens einen Öffnung (3a, 3b, 3c) gebeugten elektromagnetischen Strahlung (1) angeordnet.
(EN) The invention relates to an assembly and a method for wavefront analysis with a radiation source (8), which emits an electromagnetic wavefront of electromagnetic radiation (1) to be analysed, a spatially resolving detector unit (4, 4a, 4b, 4c) for detecting the electromagnetic wavefront, and an electronic evaluation unit (5, 7) connected to the detector unit (4, 4a, 4b, 4c). The at least one beam guiding unit (3) for guiding the electromagnetic radiation (1), which is only diffractive and/or reflective, has at least one opening (3a, 3b, 3c) and the detector unit (4, 4a, 4b, 4c) is arranged behind the at least one opening (3a, 3b, 3c) of the beam guiding unit (3) in the propagation of the electromagnetic radiation (1) in order to detect a diffraction pattern of the electromagnetic radiation (1) diffracted at the at least one opening (3a, 3b, 3c).
(FR) L'invention concerne un ensemble et un procédé d’analyse de front d’onde. L’ensemble comprend une source de rayonnement (8) qui émet un front d’onde électromagnétique à analyser d’un rayonnement électromagnétique (1), une unité de détection à résolution spatiale (4, 4a, 4b), 4c) servant à détecter le front d’onde électromagnétique, et une unité d’évaluation électronique (5, 7) connectée à l’unité de détection (4, 4a, 4b, 4c). La ou les unités de guidage de faisceau (3) servant à guider le rayonnement électromagnétique (1), qui n’est que diffractive et/ou réfléchissante, présentent au moins une ouverture (3a, 3b, 3c), et l’unité de détection (4, 4a, 4b, 4c) est agencée dans le sens de propagation du rayonnement électromagnétique (1) derrière la ou les ouvertures (3a, 3b, 3c) de l’unité de guidage de faisceau (3) pour détecter une figure de diffraction du rayonnement électromagnétique (1) diffracté au niveau de la ou des ouvertures (3a, 3b, 3c).
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)
Also published as:
EP3411682