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1. (WO2017132837) LOW CTE BORO-ALUMINOSILICATE GLASS FOR GLASS CARRIER WAFERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2017/132837 International Application No.: PCT/CN2016/073212
Publication Date: 10.08.2017 International Filing Date: 02.02.2016
IPC:
C03C 4/02 (2006.01)
C CHEMISTRY; METALLURGY
03
GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
C
CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
4
Compositions for glass with special properties
02
for coloured glass
Applicants:
SCHOTT GLASS TECHNOLOGIES (SUZHOU) CO. LTD. [CN/CN]; Huoju Rd. 79 Science & Technology Industrial Park, Suzhou New District Suzhou, Jiangsu 215009, CN
Inventors:
QIAN, Pengxiang; CN
HOU, Yunfei; CN
XUE, Junming; CN
LIEBALD, Rainer; DE
KUROKI, Hiroshi; JP
Agent:
SONDERHOFF & EINSEL (BEIJING) PATENT AGENCY OFFICE; Room 326 China World Office No.1 Jianguomenwai Avenue 1, Chaoyang District Beijing 100004, CN
Priority Data:
Title (EN) LOW CTE BORO-ALUMINOSILICATE GLASS FOR GLASS CARRIER WAFERS
(FR) VERRE BORO-ALUMINOSILICATÉ À FAIBLE COEFFICIENT DE DILATATION THERMIQUE POUR LA FABRICATION DE TRANCHES SUPPORTS EN VERRE
Abstract:
(EN) The invention concerns a low CTE boro-aluminosilicate glass having a low brittleness, in particular for the use in wafer-level-packaging (WLP) applications, with a composition in Mol-%of SiO2: 60-85, Al2O3: 1-17, B2O3: 8-20, Na2O: 0-5, K2O: 0-5, MgO: 0-10, CaO: 0-10, SrO: 0-10, BaO: 0-10, wherein the average number of non-bridging oxygen per polyhedron (NBO) is equal or larger than -0.2 and a ratio B2O3/Al2O3 is equal or larger than 0.5, wherein the NBO is defined as NBO = 2 x Omol/ (Simol+Almol+Bmol) –4. The invention also concerns a glass carrier wafer made from the low CTE boro-aluminosilicate glass and a use thereof as glass carrier wafer for the processing of a silicon substrate. The invention further concerns a method for providing a low CTE boro-aluminosilicate glass.
(FR) L'invention concerne un verre boro-aluminosilicaté à faible coefficient de dilatation thermique ayant une fragilité réduite, en particulier pour l'utilisation dans des applications de conditionnement de niveau tranche (WLP, pour « wafer-level-packaging »), ledit verre présentant la composition suivante, en pourcentage molaire : 60 à 85 de SiO2, 1 à 17 d'Al2O3, 8 à 20 de B2O3, 0 à 5 de Na2O, 0 à 5 de K2O, 0 à 10 de MgO, 0 à 10 de CaO, 0 à 10 de SrO, 0 à 10 de BaO. Le nombre moyen d'oxygène non pontant par polyèdre (NBO, pour « non-bridging oxygen ») est supérieur ou égal à -0,2 et un rapport B2O3/Al2O3 est supérieur ou égal à 0,5, NBO étant défini en tant que NBO = 2 x Omol/ (Simol+Almol+Bmol) – 4. L'invention concerne également une tranche support en verre fabriquée à partir de ce verre boro-aluminosilicaté à faible coefficient de dilatation thermique et son utilisation comme tranche support en verre pour le traitement d'un substrat de silicium. L'invention concerne en outre un procédé permettant d'obtenir un verre boro-aluminosilicaté à faible coefficient de dilatation thermique.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
CN108602713