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1. (WO2017130364) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2017/130364 International Application No.: PCT/JP2016/052559
Publication Date: 03.08.2017 International Filing Date: 29.01.2016
IPC:
H01J 37/147 (2006.01) ,H01J 37/22 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
04
Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
147
Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
22
Optical or photographic arrangements associated with the tube
Applicants:
株式会社 日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventors:
酒井 計 SAKAI Kei; JP
山口 聡 YAMAGUCHI Satoru; JP
板井 秀樹 ITAI Hideki; JP
高杉 容徳 TAKASUGI Yasunori; JP
清水 久美子 SHIMIZU Kumiko; JP
Agent:
戸田 裕二 TODA Yuji; JP
Priority Data:
Title (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
Abstract:
(EN) The objective of the present invention is to provide a charged particle beam device for setting, from an image of a trench-like groove or a pit, device conditions for finding a hole or the like provided in the trench or the pit, or measuring a hole or the like provided inside the trench or the like with high accuracy. In the present invention, a charged particle beam device comprises: a deflector for causing a charged particle beam emitted from a charged particle source to perform a scan; a detector for detecting a charged particle obtained on the basis of the scanning of the charged particle beam; and a computation processing device for generating an image on the basis of the output of the detector. In the charged particle beam device, the computation processing device specifies, from within the generated image, a relatively dark region with respect to other parts thereof, and controls the deflector in such a manner that the charged particle beam selectively scans a sample position corresponding to the dark region.
(FR) L'objectif de la présente invention est de pourvoir à un dispositif à faisceau de particules chargées permettant de régler, à partir d'une image d'une rainure du type tranchée ou d'une fosse, des conditions de dispositif pour trouver un trou ou analogue ménagé dans la tranchée ou la fosse, ou mesurer un trou ou analogue ménagé dans la tranchée ou analogue avec une grande précision. Dans la présente invention, un dispositif à faisceau de particules chargées comprend : un déflecteur pour amener un faisceau de particules chargées émis par une source de particules chargées à effectuer un balayage ; un détecteur pour détecter une particule chargée obtenue sur la base du balayage par le faisceau de particules chargées ; et un dispositif de traitement de calcul pour générer une image sur la base de la sortie du détecteur. Dans le dispositif à faisceau de particules chargées, le dispositif de traitement de calcul spécifie, à l'intérieur de l'image générée, une région relativement sombre par rapport à d'autres parties de l'image, et commande le déflecteur de manière à ce que le faisceau de particules chargées balaye sélectivement une position d'échantillon correspondant à la région sombre.
(JA) 本発明は、トレンチのような溝或いは孔の画像から、トレンチや孔内に設けられた孔等を見つけるための装置条件の設定、或いはトレンチ等内に設けられた孔等を高精度に測定する荷電粒子線装置の提供を目的とする。本発明では、荷電粒子源から放出される荷電粒子ビームを走査する偏向器と、前記荷電粒子ビームの走査に基づいて得られる荷電粒子を検出する検出器と、当該検出器の出力に基づいて、画像を生成する演算処理装置を備えた荷電粒子線装置であって、前記演算処理装置は、前記生成された画像の中から他の部分に対して相対的に暗い暗部領域を特定し、当該暗部領域に相当する試料位置に選択的に前記荷電粒子ビームが走査されるように、前記偏向器を制御する荷電粒子線装置を提案する。
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)
Also published as:
KR1020180095019US20190035600