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1. (WO2017130323) TARGET SUPPLY DEVICE AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2017/130323 International Application No.: PCT/JP2016/052318
Publication Date: 03.08.2017 International Filing Date: 27.01.2016
IPC:
H05G 2/00 (2006.01)
H ELECTRICITY
05
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
G
X-RAY TECHNIQUE
2
Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
Applicants:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
Inventors:
藤巻 貴久 FUJIMAKI, Takahisa; JP
薮 隆之 YABU, Takayuki; JP
高島 悠太 TAKASHIMA, Yuta; JP
Agent:
松浦 憲三 MATSUURA, Kenzo; JP
Priority Data:
Title (EN) TARGET SUPPLY DEVICE AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION CIBLE ET DISPOSITIF DE PRODUCTION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置
Abstract:
(EN) This target supply device is provided with a nozzle which outputs a liquid target substance housed in a tank, a vibrating element which is driven by input of a square wave electric signal, a droplet detection unit which detects droplets outputted from the nozzle, a transit time interval measuring unit which measures the transit time interval of droplets, and a control unit, wherein the control unit may be configured so as to perform: processing for configuring a suitable range for the transit time interval; processing for changing the duty value of the electric signal inputted to the vibrating element and storing, associated with the duty values, the transit time interval measured values of the droplets generated at each of the multiple duty values, as well as the variation of said transit time interval measured values; and processing for determining, from those of the duty values at which the transit time interval measured value is within the suitable range, an operation duty value on the basis of the variation.
(FR) Dispositif d'alimentation cible pourvu d'une buse qui sort une substance cible liquide logée dans un réservoir, d'un élément vibrant qui est entraîné par l'entrée d'un signal électrique à onde carrée, d'une unité de détection de gouttelette qui détecte des gouttelettes sorties par la buse, d'une unité de mesure d'intervalle de temps de transit qui mesure l'intervalle de temps de transit de gouttelettes, et d'une unité de commande, l'unité de commande pouvant être conçue de manière à effectuer : un traitement pour configurer une plage appropriée pour l'intervalle de temps de transit ; un traitement pour changer la valeur de cycle du signal électrique entré dans l'élément vibrant et stocker, associées à des valeurs de cycle, les valeurs mesurées d'intervalle de temps de transit des gouttelettes produites à chacune des multiples valeurs d'utilisation, ainsi que la variation desdites valeurs mesurées d'intervalle de temps de transit ; et un traitement pour déterminer, parmi celles des valeurs d'utilisation auxquelles la valeur mesurée d'intervalle de temps de transit se situe dans la plage appropriée, une valeur de cycle de fonctionnement sur la base de la variation.
(JA) ターゲット供給装置は、タンクに収容されている液状のターゲット物質を出力するノズルと、矩形波の電気信号が入力されることによって駆動される加振素子と、ノズルから出力されたドロップレットを検出するドロップレット検出部と、ドロップレットの通過時間間隔を計測する通過時間間隔計測部と、制御部と、を備え、制御部は、通過時間間隔の適正レンジを設定する処理と、加振素子に入力する電気信号のデューティ値を変えて、複数のデューティ値の各々において生成されるドロップレットの通過時間間隔計測値及びそのばらつきをデューティ値に対応付けて記憶する処理と、複数のデューティ値のうち、通過時間間隔計測値が適正レンジ内にあるデューティ値の中で、ばらつきに基づいて、動作デューティ値を決定する処理と、を行う構成としてもよい。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)