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1. (WO2017129183) MEASURING METHOD AND MEASURING DEVICE FOR DETERMINING A MATERIAL THICKNESS OR LAYER THICKNESS OF A TEST OBJECT
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Pub. No.: WO/2017/129183 International Application No.: PCT/DE2017/100055
Publication Date: 03.08.2017 International Filing Date: 27.01.2017
IPC:
G01B 11/06 (2006.01) ,G01N 21/3581 (2014.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02
for measuring length, width, or thickness
06
for measuring thickness
[IPC code unknown for G01N 21/3581]
Applicants:
INOEX GMBH INNOVATIONEN UND AUSRÜSTUNGEN FÜR DIE EXTRUSIONSTECHNIK [DE/DE]; Maschweg 70 49324 Melle, DE
Inventors:
THIEL, Marius; DE
Agent:
ADVOPAT PATENT- UND RECHTSANWÄLTE; Theaterstr. 6 30159 Hannover, DE
Priority Data:
10 2016 101 566.028.01.2016DE
Title (DE) MESSVERFAHREN UND MESSVORRICHTUNG ZUM ERMITTELN EINER MATERIALDICKE ODER SCHICHTDICKE EINES PRÜFOBJEKTES
(EN) MEASURING METHOD AND MEASURING DEVICE FOR DETERMINING A MATERIAL THICKNESS OR LAYER THICKNESS OF A TEST OBJECT
(FR) PROCÉDÉ DE MESURE ET DISPOSITIF DE MESURE POUR DETERMINER UN ÉPAISSEUR DE MATIÈRE OU UNE ÉPAISSEUR DE COUCHE D’UN OBJET DE TEST
Abstract:
(DE) Die Erfindung betrifft ein Messverfahren und eine Messvorrichtung (1) zur Vermessung eines Prüfobjektes (2), wobei die Messvorrichtung aufweist: einen Sender (3) zum Aussenden von ausgesandter Strahlung (4) in einem Mikrowellen- oder Terahertz-Bereich unter einem nicht-senkrechten Einfallswinkel (a) auf eine Oberseite (2a) eines Prüfobjektes (2), eine Empfangszeile (8) zur ortsaufgelösten Messung einer Signalamplitude (S) der reflektierten Strahlung (7), die an der Oberseite (2a) und nach Durchtritt durch das Prüfobjekt (2) an der Unterseite (2b) des Prüfobjektes (2) reflektierte Teil- Reflexionsstrahlen (4a, 4c) enthält, in Abhängigkeit einer Messrichtung (x), die nicht parallel zur Ausfallsrichtung der reflektierten Strahlung (7) verläuft, eine Steuer- und Recheneinrichtung (12), die zur Ermittlung von Maximalwerten (x1, x2) aus der gemessenen Signalamplitude (S), Ermittlung eines Signalabstandes (dx) der Maximalwerte (x1, x2) und Berechnung einer Materialdicke (d) oder Schichtdicke aus zumindest dem Einfallswinkel (a) und dem Signalabstand (dx) ausgebildet ist.
(EN) The invention relates to a measuring method and a measuring device (1) for measuring a test object (2), wherein the measuring device has: a transmitter (3) for emitting emitted radiation (4) in a microwave or terahertz range at a non-perpendicular angle of incidence (a) on an upper side (2a) of a test object (2); a receiver array (8) for spatially resolved measurement of a signal amplitude (S) of the reflected radiation (7) which contains partial reflection beams (4a, 4c) reflected on the upper side (2a) of the test object (2) and on the underside (2b) of the test object (2) after passing through the test object (2), depending on a measurement direction (x), which does not run parallel to the direction of reflection of the reflected radiation (7); and a control and computing means (12) which is designed to determine maximum values (x1, x2) from the measured signal amplitude (S), to determine a signal interval (dx) of the maximum values (x1, x2), and to calculate a material thickness (d) or layer thickness from at least the angle of incidence (a) and the signal interval (dx).
(FR) L'invention concerne un procédé de mesure et un dispositif de mesure (1) destinés à mesurer un objet de test (2). Le dispositif de mesure comprend : un émetteur (3) destiné à émettre un rayonnement émis (4) dans une gamme micro-ondes ou térahertz à un angle d'incidence (a) non perpendiculaire à un côté supérieur (2a) d'un objet de test (2), une cellule de réception (8) destinée à mesurer à résolution spatiale une amplitude de signal (S) du rayonnement réfléchi (7), qui contient sur le côté supérieur (2a) et, après passage à travers l'objet de test (2), sur le côté inférieure (2b) de l'objet de test (2) des rayons de réflexion partielle réfléchis (4a, 4c), en fonction d’une direction de mesure (x) non parallèle à la direction de sortie du rayonnement réfléchi (7), un moyen de commande et de calcul (12) destiné à déterminer des valeurs maximales (x1, x2) à partir de l'amplitude de signal mesurée (S), déterminer un écart de signal (dx) des valeurs maximales (x1, x2) et calculer une épaisseur de matière (d) ou une épaisseur de couche au moins à partir de l'angle d'incidence (a) et de l'écart de signal (dx).
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)
Also published as:
EP3408609