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1. (WO2017110838) CONFOCAL DISPLACEMENT METER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2017/110838 International Application No.: PCT/JP2016/088009
Publication Date: 29.06.2017 International Filing Date: 21.12.2016
IPC:
G01B 11/00 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
Applicants:
株式会社キーエンス KEYENCE CORPORATION [JP/JP]; 大阪府大阪市東淀川区東中島1丁目3番14号 3-14, Higashinakajima 1-chome, Higashiyodogawa-ku, Osaka-shi Osaka 5338555, JP
Inventors:
久我翔馬 KUGA Shoma; JP
Priority Data:
2015-25480725.12.2015JP
Title (EN) CONFOCAL DISPLACEMENT METER
(FR) COMPTEUR DE DÉPLACEMENT CONFOCAL
(JA) 共焦点変位計
Abstract:
(EN) [Problem] To provide a confocal displacement meter which is capable of easily and accurately measuring the displacement of a measurement object. [Solution] Light having chromatic aberration is made to converge by a lens unit (220), and a measurement object (S) is irradiated therewith from a measurement head (200). Light of wavelengths reflected by the surface of the measurement object (S) while focusing passes through an optical fibre (314) in the measurement head (200). The light that has passed through the optical fibre (314) is guided to a light dispersion unit (130) in a processing device (100), and dispersed. In the processing device (100), the light dispersed by the light dispersion unit (130) is received by a light reception unit (140), and a light reception signal outputted from the light reception unit (140) is acquired by a control unit (152). The control unit (152) measures displacement on the basis of the acquired light reception signal, and delivers the light reception signal to an external PC (600). A CPU (601) of the PC (600) displays, as change information, on a display unit (700), the change from the light reception signal acquired at a time point before the current time point, to the light reception signal acquired at the current time point.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de fournir un compteur de déplacement confocal qui est apte à mesurer facilement et précisément le déplacement d'un objet de mesure. La solution selon l'invention porte sur une lumière ayant une aberration chromatique est amenée à converger par une unité de lentille (220), et un objet de mesure (S) est exposé à cette dernière depuis une tête de mesure (200). Une lumière de longueurs d'onde réfléchies par la surface de l'objet de mesure (S) tout en focalisant traverse une fibre optique (314) dans la tête de mesure (200). La lumière ayant traversé la fibre optique (314) est guidée vers une unité de dispersion de lumière (130) dans un dispositif de traitement (100), et dispersée. Dans le dispositif de traitement (100), la lumière dispersée par l'unité de dispersion de lumière (130) est reçue par une unité de réception de lumière (140), et un signal de réception de lumière délivré en sortie par l'unité de réception de lumière (140) est acquis par une unité de commande (152). L'unité de commande (152) mesure un déplacement sur la base du signal de réception de lumière acquis, et fournit le signal de réception de lumière à un ordinateur externe (600). Une unité centrale de traitement (CPU) (601) de l'ordinateur (600) affiche, comme informations de changement, sur une unité d'affichage (700), le changement du signal de réception de lumière acquis à un moment avant le moment actuel, en signal de réception de lumière acquis au moment actuel.
(JA) [課題]計測対象物の変位を容易かつ正確に計測することが可能な共焦点変位計を提供する。[解決手段]色収差を有する光がレンズユニット(220)により収束されて計測ヘッド(200)から計測対象物(S)に照射される。計測対象物(S)の表面で合焦しつつ反射された波長の光が計測ヘッド(200)内の光ファイバ(314)を通過する。光ファイバ(314)を通過した光は、処理装置(100)内の分光部(130)に導かれ、分光される。処理装置(100)においては、分光部(130)により分光された光は受光部(140)により受光され、受光部(140)から出力される受光信号が制御部(152)により取得される。制御部(152)は、取得された受光信号に基づいて変位を計測するとともに、受光信号を外部のPC(600)に与える。PC(600)のCPU(601)は、現時点よりも前の時点で取得された受光信号から現時点で取得された受光信号への変化を変化情報として表示部(700)に表示させる。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)
Also published as:
CN108474645US20180274903DE112016005953