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1. (WO2017110837) CONFOCAL DISPLACEMENT METER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2017/110837 International Application No.: PCT/JP2016/088008
Publication Date: 29.06.2017 International Filing Date: 21.12.2016
IPC:
G01B 11/00 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
Applicants:
株式会社キーエンス KEYENCE CORPORATION [JP/JP]; 大阪府大阪市東淀川区東中島1丁目3番14号 3-14, Higashinakajima 1-chome, Higashiyodogawa-ku, Osaka-shi Osaka 5338555, JP
Inventors:
久我翔馬 KUGA Shoma; JP
Priority Data:
2015-25480425.12.2015JP
Title (EN) CONFOCAL DISPLACEMENT METER
(FR) APPAREIL DE MESURE DE DÉPLACEMENT CONFOCAL
(JA) 共焦点変位計
Abstract:
(EN) [Problem] To provide a confocal displacement meter capable of reducing measurement error. [Solution] Light of a plurality of wavelengths is emitted by a light projection unit (120). A lens unit (220) is used to generate, in the light emitted by the light projection unit (120), chromatic aberration along the optical axis direction. Furthermore, the light having chromatic aberration is made to converge by the lens unit (220), and a measurement object (S) is irradiated therewith. Light of wavelengths reflected by the surface of the measurement object (S) while focusing, among the light with which the measurement object (S) is irradiated via the lens unit (220), passes through a plurality of pin holes. Displacement of the measurement object (S) is calculated by a calculation processing unit (150), on the basis of the signal intensity of each wavelength of an average signal corresponding to the average intensity of each wavelength of the plurality of rays of light which have passed through the plurality of pin holes.
(FR) [Problème] Proposer un appareil de mesure de déplacement confocal capable de réduire l'erreur de mesure. [Solution] Une lumière ayant une pluralité de longueurs d'onde est émise par une unité de projection de lumière (120). Une unité de lentille (220) est utilisée pour générer, dans la lumière émise par l'unité de projection de lumière (120), une aberration chromatique le long de la direction de l'axe optique. En outre, la lumière ayant une aberration chromatique est amenée à converger par l'action de l'unité de lentille (220), et un objet à mesurer (S) est irradié avec celle-ci. Une lumière à plusieurs longueurs d'onde réfléchie par la surface de l'objet à mesurer (S) tandis qu'elle est focalisée, provenant de la lumière avec laquelle l'objet à mesurer (S) est irradié par l'intermédiaire de l'unité de lentille (220), passe à travers une pluralité de trous d'épingle. Le déplacement de l'objet à mesurer (S) est calculé par une unité de traitement et de calcul (150) sur la base de l'intensité du signal de chaque longueur d'onde d'un signal moyen correspondant à l'intensité moyenne de chaque longueur d'onde de la pluralité de rayons lumineux qui sont passés à travers la pluralité de trous de d'épingle.
(JA) [課題]計測誤差を低減可能な共焦点変位計を提供する。[解決手段]複数の波長を有する光が投光部(120)により出射される。投光部(120)により出射された光には、レンズユニット(220)により光軸方向に沿った色収差が発生する。また、色収差を有する光がレンズユニット(220)により収束されて計測対象物(S)に照射される。レンズユニット(220)により計測対象物(S)に照射された光のうち、計測対象物(S)の表面で合焦しつつ反射された波長の光が複数のピンホールを通過する。複数のピンホールを通過した複数の光についての波長ごとの強度の平均に対応する平均信号の波長ごとの信号強度に基づいて演算処理部(150)により計測対象物(S)の変位が算出される。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)
Also published as:
CN108474646US20180274902KR1020180099673EP3396308