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1. (WO2017110115) THREE-DIMENSIONAL MEASUREMENT DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2017/110115 International Application No.: PCT/JP2016/066133
Publication Date: 29.06.2017 International Filing Date: 01.06.2016
IPC:
G01B 11/25 (2006.01) ,G06T 1/00 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24
for measuring contours or curvatures
25
by projecting a pattern, e.g. moiré fringes, on the object
G PHYSICS
06
COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
T
IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
1
General purpose image data processing
Applicants:
CKD株式会社 CKD CORPORATION [JP/JP]; 愛知県小牧市応時二丁目250番地 250, Ouji 2-chome, Komaki-shi, Aichi 4858551, JP
Inventors:
梅村 信行 UMEMURA Nobuyuki; JP
大山 剛 OHYAMA Tsuyoshi; JP
坂井田 憲彦 SAKAIDA Norihiko; JP
奥田 学 OKUDA Manabu; JP
Agent:
川口光男 KAWAGUCHI Mitsuo; JP
Priority Data:
2015-24914422.12.2015JP
Title (EN) THREE-DIMENSIONAL MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE TRIDIMENSIONNELLE
(JA) 三次元計測装置
Abstract:
(EN) Provided is a three-dimensional measurement device with which it is possible to dramatically improve measurement accuracy when performing three-dimensional measurements utilizing a phase shift method. A substrate inspection device 1 includes: an illumination device 4 that projects a predetermined striped pattern upon the surface of a printed circuit board 2 from diagonally above; a camera 5 that images a section upon the printed circuit board 2 where the striped pattern is projected; and a control device 6 that executes various controls, image processing, and computational processing within the substrate inspection device 1. A grid plate 4b is moved and temporarily stopped at a predetermined position. The striped pattern projected onto the printed circuit board 2 is imaged multiple times during a predetermined period that includes the stopped period of the grid plate 4b and part of the moving period of the grid plate 4b prior to the start of said stopped period, and a brightness value of the pixels in a series of captured image data is added to each pixel and the average value thereof is calculated.
(FR) L'invention concerne un dispositif de mesure tridimensionnelle avec lequel il est possible d'améliorer considérablement la précision de mesure lors de la réalisation de mesures tridimensionnelles en utilisant un procédé de déphasage. Un dispositif (1) d'inspection de substrat comprend : un dispositif d'éclairage (4) qui projette un motif à bandes prédéfini sur la surface d'une carte de circuit imprimé (2) en diagonale depuis le dessus ; un appareil de prise de vues (5) qui forme l'image d'une section sur la carte de circuit imprimé (2) où est projeté le motif à bandes ; et un dispositif de commande (6) qui exécute diverses commandes, le traitement de l'image et un traitement informatique dans le dispositif (1) d'inspection de substrat. Une plaque de grille (4b) est déplacée et temporairement arrêtée au niveau d'une position prédéfinie. Le motif à bandes projeté sur la carte de circuit imprimé (2) est imagé plusieurs fois pendant une période prédéfinie qui comprend la période d'arrêt de la plaque de grille (4b) et une partie de la période de déplacement de la plaque de grille (4b) avant le début de ladite période d'arrêt, puis une valeur de luminosité des pixels dans une série de données d'image capturées est ajoutée à chaque pixel et la valeur moyenne de celle-ci est calculée.
(JA) 位相シフト法を利用した三次元計測を行うにあたり、計測精度の飛躍的な向上を図ることのできる三次元計測装置を提供する。基板検査装置1は、プリント基板2の表面に対し斜め上方から所定の縞パターンを投影する照明装置4と、プリント基板2上の縞パターンの投影された部分を撮像するカメラ5と、基板検査装置1内における各種制御や画像処理、演算処理を実施する制御装置6とを備えている。そして、格子板4bを所定位置に移動させ一旦停止させると共に、該格子板4bの停止期間中並びに該停止期間開始前の格子板4bの移動期間中の一部を含む所定期間において、プリント基板2に投影された縞パターンを複数回に分けて撮像し、該撮像された一連の画像データの各画素の輝度値を画素毎に加算して、その平均値を算出する。
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)
Also published as:
CN108139208DE112016005888US20180313645