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1. WO2017107777 - METHOD FOR MEASURING SURFACE SHAPE ERROR OF ROTARY SYMMETRICAL UNKNOWN ASPHERIC SURFACE, AND MEASUREMENT DEVICE THEREOF

Publication Number WO/2017/107777
Publication Date 29.06.2017
International Application No. PCT/CN2016/108999
International Filing Date 08.12.2016
IPC
G01B 11/24 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
CPC
G01B 11/24
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
Applicants
  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 CHANGCHUN INSTITUTE OF OPTICS, FINE MECHANICS AND PHYSICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCE [CN]/[CN]
Inventors
  • 彭石军 PENG, Shijun
  • 苗二龙 MIAO, Erlong
  • 高松涛 GAO, Songtao
  • 武东城 WU, Dongcheng
  • 隋永新 SUI, Yongxin
  • 杨怀江 YANG, Huaijiang
Agents
  • 中科专利商标代理有限责任公司 CHINA SCIENCE PATENT & TRADEMARK AGENT LTD.
Priority Data
201510975111.923.12.2015CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) METHOD FOR MEASURING SURFACE SHAPE ERROR OF ROTARY SYMMETRICAL UNKNOWN ASPHERIC SURFACE, AND MEASUREMENT DEVICE THEREOF
(FR) PROCÉDÉ PERMETTANT DE MESURER UNE ERREUR DE FORME DE SURFACE D'UNE SURFACE ASPHÉRIQUE INCONNUE SYMÉTRIQUE EN ROTATION, ET DISPOSITIF DE MESURE S'Y RAPPORTANT
(ZH) 一种旋转对称未知非球面面形误差的测量方法及其测量装置
Abstract
(EN)
A high-precision measurement method for a rotary symmetrical unknown aspheric surface, and a measurement device. The measurement method comprises: enabling a target measurement head (1004) of an interferometer (10) to be perpendicular to a surface (15) to be measured and scan the surface (15) to be measured; after the scanning, obtaining a group of arrays that pass through a top point of an aspheric surface and that contain spatial coordinates; obtaining, according to an aspheric surface formula, the curvature radius of the top point of the aspheric surface and values of coefficients by using a least squares fitting method; and inputting the calculated aspheric surface parameters to carry out point-to-point scanning on the whole aspheric surface, and comparing an ideal aspheric surface to obtain a surface shape error of the aspheric surface. The measurement device comprises an interferometer (10), an interferometer actuating device, and an interferometer spatial position detection device.
(FR)
La présente invention porte sur un procédé de mesure de haute précision pour une surface asphérique inconnue symétrique en rotation, et sur un dispositif de mesure. Le procédé de mesure consiste : à permettre à une tête de mesure cible (1004) d'un interféromètre (10) qui doit être perpendiculaire à une surface (15) d'être détectée et de balayer la surface (15) qui doit être détectée ; après le balayage, à obtenir un groupe de réseaux qui passent par un point supérieur d'une surface asphérique et qui contiennent des coordonnées spatiales ; à obtenir, en fonction d'une formule de surface asphérique, le rayon de courbure du point supérieur de la surface asphérique ainsi que des valeurs de coefficients à l'aide d'une méthode d'ajustement des moindres carrés minimum ; et à entrer les paramètres de surface asphérique calculés pour réaliser un balayage point par point sur toute la surface asphérique, et à comparer une surface asphérique idéale afin d'obtenir une erreur de forme de surface de la surface asphérique. Le dispositif de mesure comprend un interféromètre (10), un dispositif d'actionnement d'interféromètre et un dispositif de détection de position spatiale de l'interféromètre.
(ZH)
一种旋转对称未知非球面的高精度测量方法和测量装置。该测量方法包括:使干涉仪(10)的目标测头(1004)垂直于待测表面(15)并对待测表面(15)进行扫描,扫描完成后得到一组过非球面顶点的包含空间坐标的数组,根据非球面公式,采用最小二乘拟合法求解得到非球面顶点曲率半径以及各项系数的值;将计算得到的非球面参数输入以对整个非球面进行逐点扫描,对比理想非球面得到非球面的面形误差。该测量装置包括:干涉仪(10)、干涉仪致动装置和干涉仪空间位置检测装置。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau