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1. (WO2017099182) LINKED-TYPE SCREW GROOVE SPACER, AND VACUUM PUMP
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Pub. No.: WO/2017/099182 International Application No.: PCT/JP2016/086591
Publication Date: 15.06.2017 International Filing Date: 08.12.2016
IPC:
F04D 19/04 (2006.01)
F MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04
POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
D
NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19
Axial-flow pumps specially adapted for elastic fluids
02
Multi-stage pumps
04
specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
Applicants:
エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; 千葉県八千代市吉橋1078番地1 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi Chiba 2768523, JP
Inventors:
坂口 祐幸 SAKAGUCHI Yoshiyuki; JP
三輪田 透 MIWATA Tooru; JP
三枝 健吾 SAEGUSA Kengo; JP
吉原 菜穂子 YOSHIHARA Nahoko; JP
Priority Data:
2015-24000909.12.2015JP
Title (EN) LINKED-TYPE SCREW GROOVE SPACER, AND VACUUM PUMP
(FR) ENTRETOISE DE RAINURE DE VIS DE TYPE RELIÉ ET POMPE À VIDE
(JA) 連結型ネジ溝スペーサ、および真空ポンプ
Abstract:
(EN) [Problem] To provide a linked-type screw groove spacer that can be reduced in size while exhaust performance of a screw groove pump section is maintained, and a vacuum pump furnished with this linked-type screw groove spacer. [Solution] A linked-type screw groove spacer according to an embodiment of the present invention has a structure in which a Siegbahn pump section and a screw groove pump section are linked. More specifically, the screw groove pump section, which is an exhaust element section, is structured such that a Siegbahn structure is mounted on a cylindrical screw, and is configured such that components are linked in the mounted portion. In other words, the borderlines of the flow channels in the Siegbahn section and the cylindrical screw (the screw groove pump section) are joined so as to be substantially perpendicular as seen along the axial direction of the vacuum pump, and the flow channels of the Siegbahn section and the screw groove pump section are joined. With this configuration, the length of a compression flow channel in the screw groove pump section can be increased in the diametrical direction by the linked Siegbahn section.
(FR) Le problème à résoudre dans le cadre de la présente invention consiste à fournir une entretoise de rainure de vis de type relié dont la taille peut être réduite tandis que les performances d'évacuation d'une section de pompe à rainure de vis sont conservées, et une pompe à vide pourvue de cette entretoise de rainure de vis de type relié. La solution consiste, selon un mode de réalisation de la présente invention, en une entretoise de rainure de vis de type relié qui présente une structure dans laquelle une section de pompe Siegbahn et une section de pompe à rainure de vis sont reliées. De façon plus précise, la section de pompe à rainure de vis, qui est une section d'élément d'échappement, est structurée de telle sorte qu'une structure Siegbahn soit montée sur une vis cylindrique, et est configurée de telle sorte que les composants soient reliés dans la partie montée. En d'autres termes, les limites des canaux d'écoulement dans la section Siegbahn et la vis cylindrique (la section de pompe à rainure de vis) sont réunies de sorte à être sensiblement perpendiculaires, comme observé dans la direction axiale de la pompe à vide, et les canaux d'écoulement de la section Siegbahn et de la section de pompe à rainure de vis sont réunis. Avec cette configuration, la longueur d'un canal d'écoulement de compression dans la section de pompe à rainure de vis peut être accrue dans le sens diamétral par la section Siegbahn liée.
(JA) 【課題】ネジ溝ポンプ部の排気性能を維持しつつ小型化を実現する連結型ネジ溝スペーサ、および、当該連結型ネジ溝スペーサが配設された真空ポンプを提供する。 【解決手段】本発明の実施形態に係る連結型ネジ溝スペーサは、シグバーンポンプ部とネジ溝ポンプ部とを連結させる構造を備える。より詳しくは、排気要素部であるネジ溝ポンプ部の構造を、円筒状ネジの上にシグバーン形の構造が取り付けられた構造にし、当該取り付け部分において各部品が連結する構成にする。つまり、シグバーン部と円筒状ネジ(ネジ溝ポンプ部)の流路の境目を、真空ポンプの軸線方向から見て略直角になるように繋ぎ、シグバーン部とネジ溝ポンプ部の流路を繋ぐ。この構成により、ネジ溝ポンプ部の圧縮流路長を、連結されたシグバーン部によって径方向に伸ばすことができる。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)
Also published as:
CN108350895KR1020180092935EP3388681US20180355888