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1. (WO2017098573) HIGH VOLTAGE POWER SUPPLY DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2017/098573 International Application No.: PCT/JP2015/084353
Publication Date: 15.06.2017 International Filing Date: 08.12.2015
IPC:
H01J 37/248 (2006.01) ,H01J 37/244 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
248
Components associated with high voltage supply
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
244
Detectors; Associated components or circuits therefor
Applicants:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventors:
西元 琢真 NISHIMOTO Takuma; JP
李 ウェン LI Wen; JP
高橋 弘之 TAKAHASHI Hiroyuki; JP
川野 源 KAWANO Hajime; JP
Agent:
青稜特許業務法人 SEIRYO I.P.C.; 東京都中央区八丁堀二丁目24番2号 24-2, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032, JP
Priority Data:
Title (EN) HIGH VOLTAGE POWER SUPPLY DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION HAUTE TENSION ET DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 高電圧電源装置および、荷電粒子ビーム装置
Abstract:
(EN) To reduce ripples in a high voltage power supply device even in the cases where disturbance has flowed into the high voltage power supply device from a power supply circuit or the like that is disposed adjacent to the high voltage power supply device. A high voltage power supply device of the present invention is configured by being provided with: a drive circuit (31); a transformer (32) that boosts an output voltage of the drive circuit (31); a booster circuit (33) that further boosts the voltage that has been boosted by the transformer (32); a shield (35) covering the transformer (32) and the booster circuit (33); and a filter circuit (34), which filters and smoothes the high voltage outputted from the booster circuit (33), and outputs the voltage. The high voltage power supply device is also provided with an impedance loop circuit (39) configured by connecting in a loop state a plurality of impedance elements (391, 392, 393, 394). A grounding point (330) of the booster circuit, a grounding point (350) of the shield, and a grounding point (340) of the filter circuit are configured such that the grounding points are grounded via the impedance loop circuit (39).
(FR) La présente invention vise à réduire des ondulations dans un dispositif d'alimentation haute tension même dans les cas où une perturbation a circulé dans le dispositif d'alimentation haute tension provenant d'un circuit d'alimentation ou analogue qui est disposé adjacent au dispositif d'alimentation haute tension. À cet effet, la présente invention concerne un dispositif d'alimentation haute tension configuré en étant équipé: d'un circuit de commande (31); d'un transformateur (32) qui amplifie une tension de sortie du circuit de commande (31); d'un circuit survolteur (33) qui amplifie davantage la tension qui a été amplifiée par le transformateur (32); d'un blindage (35) recouvrant le transformateur (32) et le circuit survolteur (33); et d'un circuit de filtrage (34), qui filtre et lisse la haute tension émise par le circuit survolteur (33), et émet en sortie ladite tension. Le dispositif d'alimentation haute tension est également équipé d'un circuit de boucle d'impédance (39) configuré par la connexion en boucle d'une pluralité d'éléments d'impédance (391, 392, 393, 394). Un point de mise à la terre (330) du circuit survolteur, un point de mise à la terre (350) du blindage et un point de mise à la terre (340) du circuit de filtrage sont configurés de sorte que les points de mise à la terre soient mis à la terre à travers le circuit de boucle d'impédance (39).
(JA) 高電圧電源装置において、隣接配置された電源回路等から外乱が流入した場合でも,低リップル化を実現できるようにする。高電圧電源装置を、駆動回路(31)と、駆動回路(31)の出力電圧を昇圧させるトランス(32)と、トランス(32)で昇圧させた電圧を更に昇圧させる昇圧回路(33)と、トランス(32)と昇圧回路(33)とを覆うシールド(35)と、昇圧回路(33)から出力された高電圧をフィルタリングし平滑化して出力するフィルタ回路(34)とを備えて構成し、複数のインピーダンス素子(391,392,393,394)をループ状に結線して構成したインピーダンスループ回路(39)を更に備え、昇圧回路の接地点(330)とシールドの接地点(350)とフィルタ回路の接地点(340)とは、インピーダンスループ回路(39)を介して接地されるように構成する。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)
Also published as:
US20180366296