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1. (WO2017097480) LASER RECLOSURE HAVING LOCAL DELIMITATION
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Pub. No.: WO/2017/097480 International Application No.: PCT/EP2016/075017
Publication Date: 15.06.2017 International Filing Date: 19.10.2016
IPC:
B81C 1/00 (2006.01)
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
C
PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1
Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
Applicants:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventors:
REICHENBACH, Frank; DE
REINMUTH, Jochen; DE
BREITLING, Achim; DE
AMTHOR, Julia; DE
Priority Data:
10 2015 224 538.108.12.2015DE
Title (DE) LASER-WIEDERVERSCHLUSS MIT LOKALER BEGRENZUNG
(EN) LASER RECLOSURE HAVING LOCAL DELIMITATION
(FR) REFERMETURE PAR LASER AVEC DÉLIMITATION LOCALE
Abstract:
(DE) Es wird ein Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Bauelements mit einem Substrat und mit einer mit dem Substrat verbundenen und mit dem Substrat eine erste Kaverne umschließenden Kappe vorgeschlagen, wobei in der ersten Kaverne ein erster Druck herrscht und ein erstes Gasgemisch mit einer ersten chemischen Zusammensetzung eingeschlossen ist, wobei - in einem ersten Verfahrensschritt eine die erste Kaverne mit einer Umgebung des mikromechanischen Bauelements verbindende Zugangsöffnung in dem Substrat oder in der Kappe ausgebildet wird, wobei - in einem zweiten Verfahrensschritt der erste Druck und/oder die erste chemische Zusammensetzung in der ersten Kaverne eingestellt wird, wobei - in einem dritten Verfahrensschritt die Zugangsöffnung durch Einbringen von Energie oder Wärme in einen absorbierenden Teil des Substrats oder der Kappe mithilfe eines Lasers verschlossen wird, wobei - in einem vierten Verfahrensschritt eine gegenüber einer der ersten Kaverne abgewandten Oberfläche des Substrats oder der Kappe erhabene und im Bereich der Zugangsöffnung angeordnete Struktur zum Bereitstellen eines im dritten Verfahrensschritt in einen flüssigen Aggregatzustand umgewandelten Materialbereichs des Substrats oder der Kappe ausgebildet wird.
(EN) The invention relates to a method for producing a micromechanical component having a substrate, and having a cap which is connected to the substrate and which, together with the substrate, surrounds a first cavity, wherein in the first cavity a first pressure prevails and a first gas mixture having a first chemical composition is enclosed, wherein in a first method step an access opening which connects the first cavity to the surroundings of the micromechanical component is formed in the substrate or in the cap, wherein in a second method step the first pressure and/or the first chemical composition in the first cavity is adjusted, wherein in a third method step the access opening is closed by introduction of energy or heat into an absorbent part of the substrate or the cap with the aid of a laser, wherein in a fourth method step a structure which is raised relative to a surface of the substrate facing away from the first cavity or the cap and is arranged in the region of the access opening is designed for provision of a material region of the substrate or of the cap which is transformed into a fluid physical state in the third method step.
(FR) Procédé de fabrication d’un composant micromécanique comprenant un substrat et une première cavité reliée au substrat et un capot entourant la première cavité conjointement avec le substrat, la première cavité présentant une première pression et renfermant un premier mélange gazeux ayant une première composition chimique. Dans une première étape du procédé, une ouverture d’accès reliant la première cavité à un environnement du composant micromécanique est formée dans le substrat ou le capot, et dans une deuxième étape du procédé, la première pression et/ou la première composition chimique est/sont générée(s) dans la première cavité, et dans une troisième étape du procédé, l’ouverture d’accès est fermée par application d’énergie ou de chaleur sur une partie absorbante du substrat ou du capot à l’aide d’un laser, et dans une quatrième étape du procédé, une structure surélevée par rapport à une surface du substrat ou du capot orientée à l’opposé de la première cavité, agencée dans la zone de l’ouverture d’accès, est formée pour l’obtention d’une zone de matériau du substrat ou du capot qui est liquéfiée lors de la troisième étape du procédé,
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)