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1. (WO2017097478) ACOUSTIC TRANSDUCER ARRANGEMENT HAVING A STRUCTURED METAL LAYER AND METHOD FOR PRODUCING AN ACOUSTIC TRANSDUCER ARRANGEMENT HAVING A STRUCTURED METAL LAYER
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Pub. No.: WO/2017/097478 International Application No.: PCT/EP2016/074858
Publication Date: 15.06.2017 International Filing Date: 17.10.2016
IPC:
B06B 1/06 (2006.01) ,G10K 11/00 (2006.01)
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
06
GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
B
GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
1
Processes or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic or ultrasonic frequency
02
making use of electrical energy
06
operating with piezo-electric effect or with electrostriction
G PHYSICS
10
MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
K
SOUND-PRODUCING DEVICES;  METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11
Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
Applicants:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventors:
SCHEUFELE, Bernd; DE
GERLACH, Andre; DE
Priority Data:
10 2015 224 763.510.12.2015DE
Title (DE) SCHALLWANDLERANORDNUNG MIT STRUKTURIERTER METALLSCHICHT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SCHALLWANDLERANORDNUNG MIT STRUKTURIERTER METALLSCHICHT
(EN) ACOUSTIC TRANSDUCER ARRANGEMENT HAVING A STRUCTURED METAL LAYER AND METHOD FOR PRODUCING AN ACOUSTIC TRANSDUCER ARRANGEMENT HAVING A STRUCTURED METAL LAYER
(FR) ENSEMBLE TRANSDUCTEUR ACOUSTIQUE COMPRENANT UNE COUCHE MÉTALLIQUE STRUCTURÉE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D’UN ENSEMBLE TRANSDUCTEUR ACOUSTIQUE COMPRENANT UNE COUCHE MÉTALLIQUE STRUCTURÉE
Abstract:
(DE) Schallwandleranordnung (100) umfassend einen Lochplattenträger (101), der horizontal beabstandet angeordnete erste Aussparungen (102) und horizontal beabstandet angeordnete zweite Aussparungen aufweist, wobei jeweils eine erste Aussparung (102) und eine zweite Aussparung (103) übereinander angrenzend angeordnet sind, wobei eine horizontale Ausdehnung der zweiten Aussparung (103) größer ist als eine horizontale Ausdehnung der ersten Aussparung (102), sodass sich innerhalb des Lochplattenträgers (101) Auflageflächen (104) bilden, mehrere Piezoelemente (105) und eine Abschlussschicht (108), dadurch gekennzeichnet, dass jede zweite Aussparung (103) ein Piezoelement (105) aufweist und die Piezoelemente (105) teilweise auf den Auflageflächen (104) angeordnet sind, wobei jedes Piezoelement (105) eine horizontale Ausdehnung aufweist, die größer ist als die horizontale Ausdehnung der ersten Aussparung (102) und kleiner ist als die horizontale Ausdehnung der zweiten Aussparung (103), sodass sich in horizontaler Richtung Hohlräume zwischen dem Lochplattenträger (101) und den Piezoelementen (105) bilden und die Abschlussschicht (108) auf dem Lochplattenträger (101) und den Piezoelementen (105) angeordnet ist, wobei die Abschlussschicht (108) eine erste strukturierte Metallschicht (109) aufweist, die oberhalb der Piezoelemente (105) angeordnet ist und als Membran fungiert.
(EN) An acoustic transducer arrangement (100) comprising a perforated plate carrier (101) which has horizontally spaced first recesses (102) and horizontally spaced second recesses, in each case a first recess (102) and a second recess (103) being arranged adjacently above each other, wherein a horizontal extent of the second recess (103) is larger than a horizontal extent of the first recess (102) so that support surfaces (104) form within the perforated plate carrier (101); a plurality of piezoelectric elements (105); and a top layer (108), characterized in that each second recess (103) has a piezoelectric element (105) and the piezoelectric elements (105) are partially situated on the support surfaces (104), each piezoelectric element (105) having a horizontal extent that is larger than the horizontal extent of the first recess (102) and smaller than the horizontal extent of the second recess (103) so that cavities form in the horizontal direction between the perforated plate carrier (101) and the piezoelectric elements (105) and the top layer (108) is situated on the perforated plate carrier (101) and the piezoelectric elements (105), wherein the top layer (108) has a first structured metal layer (109) which is situated above the piezoelectric elements (105) and functions as a membrane.
(FR) Ensemble transducteur acoustique (100) comprenant : un support en plaque perforée (101) présentant des premiers évidements (102) agencés de manière espacée horizontalement et des deuxièmes évidements agencés de manière espacée horizontalement, un premier évidement (102) et un deuxième évidement (103) étant dans chaque cas agencés de manière adjacente l’un au-dessus de l’autre, l’étendue horizontale du deuxième évidement (103) étant supérieure à l’étendue horizontale du premier évidement (102) de sorte que des surfaces d’appui (104) sont formées à l’intérieur du support en plaque perforée (101) ; plusieurs éléments piézoélectriques (105) ; et une couche de recouvrement (108). L’invention se caractérise en ce que chaque deuxième évidement (103) présente un élément piézoélectrique (105) et les éléments piézoélectriques (105) sont disposés en partie sur les surfaces d’appui (104), chaque élément piézoélectrique (105) présentant une étendue horizontale qui est supérieure à celle du premier évidement (102) et inférieure à celle du deuxième évidement (103) de sorte que des cavités sont formées entre le support en plaque perforée (101) et les éléments piézoélectriques (105) dans la direction horizontale. L’invention se caractérise par ailleurs en ce que la couche de recouvrement (108) est disposée sur le support en plaque perforée (101) et les éléments piézoélectriques (105), la couche de recouvrement (108) présentant une première couche métallique structurée (109) qui est disposée au-dessus des éléments piézoélectriques (105) et qui fait fonction de membrane.
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