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1. (WO2017094495) INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD
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Pub. No.: WO/2017/094495 International Application No.: PCT/JP2016/083855
Publication Date: 08.06.2017 International Filing Date: 15.11.2016
IPC:
G01N 27/72 (2006.01) ,G01R 31/302 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27
Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
72
by investigating magnetic variables
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31
Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28
Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
302
Contactless testing
Applicants:
浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558, JP
Inventors:
中村 共則 NAKAMURA Tomonori; JP
Agent:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
Priority Data:
2015-23666403.12.2015JP
Title (EN) INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D’INSPECTION ET PROCÉDÉ D’INSPECTION
(JA) 検査装置及び検査方法
Abstract:
(EN) An inspection device 1 is provided with: a light-outputting unit 3 for outputting a first light that has a first wavelength and a second light that has a second wavelength; a magnetooptical crystal 6 disposed such that a reflective film 13 faces an object to be measured D; a light-detecting unit 7 for detecting the first light and the second light; and a light-guiding optical system 4A for guiding the first light and the second light toward the magnetooptical crystal 6 and the object to be measured D, and reflecting the first light reflected by the magnetooptical crystal 6 and the second light reflected by the object to be measured D toward the light-detecting unit 7. The light-guiding optical system 4A has an optical-path-switching element M for switching an optical path using a plurality of optical elements such that the first light and the second light are selectively incident on the light-detecting unit 7.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'inspection (1) qui comprend : une unité d'émission de lumière (3) pour émettre une première lumière ayant une première longueur d'onde et une seconde lumière ayant une seconde longueur d'onde ; un cristal magnéto-optique (6) disposé de telle sorte qu'un film réfléchissant (13) fait face à un objet à mesurer (D) ; une unité de détection de lumière (7) pour détecter la première lumière et la seconde lumière ; et un système optique de guidage de lumière (4A), pour guider la première lumière et la seconde lumière vers le cristal magnéto-optique (6) et l'objet à mesurer (D), et réfléchir la première lumière réfléchie par le cristal magnéto-optique (6) et la seconde lumière réfléchie par l'objet à mesurer (D) vers l'unité de détection de lumière (7). Le système optique de guidage de lumière (4A) comprend un élément de commutation de trajet optique (M) pour commuter un trajet optique à l'aide d'une pluralité d'éléments optiques de telle sorte que la première lumière et la seconde lumière sont sélectivement incidentes sur l'unité de détection de lumière (7).
(JA) 検査装置1は、第1の波長を有する第1の光及び第2の波長を有する第2の光を出力する光出力部3と、反射膜13が計測対象物Dに対向するように配置される磁気光学結晶6と、第1の光及び前記第2の光を検出する光検出部7と、第1の光及び第2の光を磁気光学結晶6及び計測対象物Dに向けて導光すると共に、磁気光学結晶6で反射した第1の光と、計測対象物Dで反射した第2の光とを光検出部7に向けて導光する導光光学系4Aと、を備え、導光光学系4Aは、第1の光及び第2の光が選択的に光検出部7に入射するように、複数の光学素子による光路を切り替える光路切替素子Mを有している。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)
Also published as:
CN108369211KR1020180088790US20180348165