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1. (WO2017092938) ARRANGEMENT FOR DETERMINING THE DEPTH OF RECESSES FORMED IN SURFACES OF A SUBSTRATE ON WHICH AT LEAST ONE LAYER IS FORMED FROM A MATERIAL DIFFERENT TO THE SUBSTRATE MATERIAL
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Pub. No.: WO/2017/092938 International Application No.: PCT/EP2016/076083
Publication Date: 08.06.2017 International Filing Date: 28.10.2016
IPC:
G01B 11/22 (2006.01) ,G01J 3/00 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
22
for measuring depth
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
J
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3
Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
Applicants:
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastraße 27c 80686 München, DE
Inventors:
WOLLMANN, Philipp; DE
GRÄHLERT, Wulf; DE
GRUBER, Florian; DE
Agent:
PFENNING, MEINIG & PARTNER MBB; An der Frauenkirche 20 01067 Dresden, DE
Priority Data:
10 2015 223 853.901.12.2015DE
Title (DE) ANORDNUNG ZUR BESTIMMUNG DER TIEFE VON IN OBERFLÄCHEN EINES SUBSTRATES, AUF DEM MINDESTENS EINE SCHICHT AUS EINEM VOM SUBSTRATMATERIAL ABWEICHENDEN MATERIAL AUSGEBILDET IST, AUSGEBILDETEN VERTIEFUNGEN
(EN) ARRANGEMENT FOR DETERMINING THE DEPTH OF RECESSES FORMED IN SURFACES OF A SUBSTRATE ON WHICH AT LEAST ONE LAYER IS FORMED FROM A MATERIAL DIFFERENT TO THE SUBSTRATE MATERIAL
(FR) ENSEMBLE POUR DÉTERMINER LA PROFONDEUR D'ÉVIDEMENTS MÉNAGÉS DANS DES SURFACES D'UN SUBSTRAT SUR LEQUEL AU MOINS UNE COUCHE CONSTITUÉE D'UN MATÉRIAU DIFFÉRENT DU MATÉRIAU DU SUBSTRAT EST RÉALISÉE
Abstract:
(DE) Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Bestimmung der Tiefe von in Oberflächen eines Substrates, auf dem mindestens eine Schicht ausgebildet ist, ausgebildeten Vertiefungen. Dabei sind mehrere Detektoren, die zur ortsaufgelösten spektralen Analyse elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines Wellenlängenintervalls ausgebildet sind, vorhanden. Die Detektoren sind mit einer Auswerteeinheit verbunden und so angeordnet, dass von einer Strahlungsquelle emittierte Strahlung auf die Detektoren auftrifft. Die Bestrahlung erfolgt auf eine Fläche, von der die elektromagnetische Strahlung reflektiert oder durch die Fläche transmittiert wird. Die Auswerteeinheit ist so ausgebildet, dass die orts- und wellenlängenaufgelöst erfassten Messsignale der Detektoren innerhalb eines Wellenlängenintervalls für einzelne Ortspunkte erfassbar sind. An mehreren Positionen erfasste Messsignale werden einem Teilbereich zugeordnet. Anhand dieser orts- und wellenlängenaufgelöst erfassten Messsignale kann ein Vergleich mit vorab ermittelten Messwerten, die in analoger Weise an Vergleichsmustern durchgeführt werden. Bei ausreichender Übereinstimmung kann die Tiefe bestimmt werden.
(EN) The invention relates to an arrangement for determining the depth of recesses formed in surfaces of a substrate on which at least one layer is formed. There are multiple detectors, which are designed for the spatially resolved spectral analysis of electromagnetic radiation within a wavelength interval. The detectors are connected to an evaluation unit and are arranged such that radiation emitted from a radiation source is incident on the detectors. The irradiation occurs on a surface from which the electromagnetic radiation is reflected or transmitted through the surface. The evaluation unit is designed such that the measurement signals of the detectors, detected in a spatially resolved and wavelength resolved manner, can be detected within a wavelength interval for individual location points. Measurement signals detected at multiple positions are associated with a sub-region. On the basis of said measurement signals detected in a spatially resolved and wavelength resolved manner, a comparison can be carried out with pre-determined measurement values, which have been detected in a similar manner with comparison patterns. The depth can be determined in the event of sufficient correlation.
(FR) L'invention concerne un ensemble pour déterminer la profondeur d'évidements ménagés dans des surfaces d'un substrat sur lequel au moins une couche est réalisée. Plusieurs détecteurs sont prévus, lesquels sont conçus pour l'analyse spectrale à résolution spatiale d'un rayonnement électromagnétique dans un intervalle de longueurs d'onde. Les détecteurs sont connectés à une unité d'évaluation et sont disposés de telle sorte que le rayonnement émis par une source de rayonnement soit incident sur les détecteurs. Une surface est exposée au rayonnement, surface à partir de laquelle le rayonnement électromagnétique est réfléchi ou transmis à travers la surface. L'unité d'évaluation est conçue de telle sorte que les signaux de mesure détectés avec une résolution spatiale et en longueur d'onde des détecteurs peuvent être détectés dans un intervalle de longueurs d'onde pour des points spatiaux individuels. Des signaux de mesure détectés en plusieurs positions sont associés à une sous-région. À l'aide de ces signaux de mesure détectés avec une résolution spatiale et en longueur d'onde, une comparaison avec des valeurs de mesure préalablement déterminées qui ont été effectuées de manière analogue sur des modèles de comparaison peut être effectuée. En cas de concordance suffisante, la profondeur peut être déterminée.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)