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1. (WO2017092720) WORKPIECE PLATFORM SUBSTRATE CONTACT DEVICE AND PREALIGNMENT METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2017/092720 International Application No.: PCT/CN2017/072467
Publication Date: 08.06.2017 International Filing Date: 24.01.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01)
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20
Exposure; Apparatus therefor
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67
Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
68
for positioning, orientation or alignment
Applicants:
上海微电子装备(集团)股份有限公司 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 中国上海市 张江高科技园区张东路1525号 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203, CN
Inventors:
杨玉杰 YANG, Yujie; CN
朱岳彬 ZHU, Yuebin; CN
Agent:
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 中国上海市 长宁区天山西路789号1幢341室 Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335, CN
Priority Data:
201510859960.830.11.2015CN
Title (EN) WORKPIECE PLATFORM SUBSTRATE CONTACT DEVICE AND PREALIGNMENT METHOD
(FR) DISPOSITIF DE MISE EN CONTACT DE SUBSTRAT DE PLATEFORME À PIÈCE ET PROCÉDÉ DE PRÉ-ALIGNEMENT
(ZH) 工件台基板交接装置与预对准方法
Abstract:
(EN) A workpiece platform substrate contact device and a prealignment method. The device comprises: a detection feedback device and an air flotation guide rail device (1, 2) located on a workpiece platform; a moving base platform (3) mounted on the air flotation guide rail device (1, 2), the air flotation guide rail device (1, 2) controlling the moving base platform (3) to move horizontally with respect to the workpiece platform; a support platform (4) mounted on the moving base platform (3); a substrate platform (5) mounted on the support platform (4), a vacuum suction cup device (6) being arranged on the substrate platform (5), the vacuum suction cup device (6) being used for suctioning a substrate (10) and driving the substrate (10) to rotate around a central axis. Positions on the support platform (4) which correspond to two sides of the substrate platform (5) are provided with rotation clamping mechanisms (7), used for clamping the substrate (10) and cooperating with the vacuum suction cup device (6) to implement the rotation of the substrate (10). The detection feedback device detects the position of the substrate (10) and on the basis of a detection result, controls the air flotation guide rail device (1, 2) and/or the vacuum suction cup device (6) and the rotation clamping mechanisms (7) to adjust the position of the substrate (10). The device saves substrate loading and prealignment time, and the contactless detection feedback device effectively reduces substrate contamination and damage.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de mise en contact de substrat de plateforme à pièce et un procédé de pré-alignement. Le dispositif comprend : un dispositif de retour de détection et un dispositif de rail de guidage de flottation situé sur une plateforme à pièce ; une plateforme de base mobile montée sur le dispositif de rail de guidage de flottation, le dispositif de rail de guidage de flottation commandant le déplacement de la plateforme de base mobile horizontalement par rapport à la plateforme à pièce ; une plateforme de support montée sur la plateforme de base mobile ; une plateforme de substrat montée sur la plateforme de support, un dispositif de ventouse d'aspiration étant disposé sur la plateforme de substrat, le dispositif de ventouse d'aspiration étant utilisé pour aspirer un substrat et entraîner le substrat en rotation autour d'un axe central. Des positions sur la plateforme de support qui correspondent à deux côtés de la plateforme de substrat sont pourvues de mécanismes de blocage de rotation, utilisés pour serrer le substrat et coopérer avec le dispositif de ventouse d'aspiration pour mettre en œuvre la rotation du substrat. Le dispositif de retour de détection détecte la position du substrat et sur la base d'un résultat de détection, commande le dispositif de rail de guidage à flottation et/ou le dispositif de ventouse d'aspiration et les mécanismes de blocage de rotation pour régler la position du substrat. La présente invention permet de réaliser un gain de temps au niveau du chargement et du pré-alignement de substrat, et le dispositif de retour de détection sans contact réduit efficacement la contamination et l'endommagement du substrat.
(ZH) 一种工件台基板交接装置与预对准方法。装置包括位于工件台上的检测反馈装置和气浮导轨装置(1, 2);安装在气浮导轨装置(1, 2)上的运动基台(3),气浮导轨装置(1, 2)控制运动基台(3)相对工件台沿水平方向移动;安装在运动基台(3)上的支撑台(4);以及安装在支撑台(4)上的基板台(5),基板台(5)上设有真空吸盘装置(6),用于吸附基板(10)并带动基板(10)绕中心轴旋转;支撑台(4)上对应基板台(5)两侧的位置设有旋转夹紧机构(7),用于夹紧基板(10)并与真空吸盘装置(6)协同工作以实现基板(10)的旋转;检测反馈装置检测基板(10)的位置,并基于检测结果控制气浮导轨装置(1, 2)和/或真空吸盘装置(6)及旋转夹紧机构(7)对基板(10)的位置进行调整。这种装置为基板(10)的上板和预对准节省了时间,采用无接触式的检测反馈装置有效避免了污染和损坏基板(10)。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)