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1. (WO2017092719) FREE PUPIL ILLUMINATION METHOD AND ILLUMINATION SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2017/092719 International Application No.: PCT/CN2017/072424
Publication Date: 08.06.2017 International Filing Date: 24.01.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G02B 26/00 (2006.01) ,G02B 27/09 (2006.01)
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20
Exposure; Apparatus therefor
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26
Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27
Other optical systems; Other optical apparatus
09
Beam shaping, e.g. changing the cross-sectioned area, not otherwise provided for
Applicants:
上海微电子装备(集团)股份有限公司 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 中国上海市 张江高科技园区张东路1525号 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203, CN
Inventors:
田毅强 TIAN, Yiqiang; CN
Agent:
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 中国上海市 长宁区天山西路789号1幢341室 Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335, CN
Priority Data:
201510856658.730.11.2015CN
Title (EN) FREE PUPIL ILLUMINATION METHOD AND ILLUMINATION SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ D'ÉCLAIRAGE ET SYSTÈME D'ÉCLAIRAGE À PUPILLE LIBRE
(ZH) 自由光瞳照明方法及照明系统
Abstract:
(EN) A free pupil illumination method and illumination system, the illumination method comprising the following steps: step 1, arranging an LED array light source (10), the LED array light source being a combination of several LED light sources (11) and being provided with a light source main axis; step 2, arranging a variable field diaphragm (40) on the light source main axis; step 3, arranging a control unit (60), the control unit being respectively connected to the LED array light source and the variable field diaphragm; step 4, according to a required pupil energy distribution and a required exposure field range, controlling, via the control unit, the power of the light emitted by corresponding LED light sources and a light-blocking range of the variable field diaphragm, to implement corresponding free pupil illumination. The power of the light emitted by each LED light source within the LED array light source is modulated so as to obtain a required energy distribution on a pupil plane. The present invention is simple in terms of the pupil modulation principle and structure, easy to mount and adjust, and very safe. The mode switching speed is rapid, and costs are low.
(FR) La présente invention concerne un procédé d'éclairage et un système d'éclairage à pupille libre, le procédé comprenant les étapes suivantes : étape 1, la disposition d'une source de lumière à réseau de LED, la source de lumière à réseau de LED étant une combinaison de plusieurs sources de lumière à LED et comportant un axe principal de source de lumière; étape 2, la disposition d'un diaphragme à champ variable sur l'axe principal de source de lumière; étape 3, la disposition d'une unité de régulation, l'unité de régulation étant reliée respectivement à ladite source de lumière à réseau de LED et au diaphragme à champ variable; étape 4, en fonction d'une répartition de l'énergie de pupille exigée et d'une plage de champs d'exposition exigée, la régulation, par l'intermédiaire de l'unité de régulation, de la puissance de la lumière émise par des sources de lumière à LED correspondantes et d'une plage de blocage de lumière du diaphragme à champ variable, afin de mettre en œuvre un éclairage à pupille libre correspondant. La puissance de la lumière émise par chaque source de lumière à LED dans la source de lumière à réseau de LED est modulée de façon à obtenir une répartition de l'énergie exigée sur un plan de pupille. La présente invention est simple en termes de principe et de structure de modulation de pupille, elle est facile à monter et à ajuster, et elle est très sûre. La vitesse de commutation de mode est élevée, et les coûts sont faibles.
(ZH) 一种自由光瞳照明方法及照明系统,照明方法包括如下步骤:步骤1、设置LED阵列光源(10),LED阵列光源由若干LED光源(11)组合而成,具有光源主轴;步骤2、设置可变视场光阑(40)在光源主轴上;步骤3、设置控制单元(60),控制单元与LED阵列光源和可变视场光阑分别连接;步骤4、根据所需的光瞳能量分布及曝光视场范围,通过控制单元控制相应的LED光源出射光的功率,及可变视场光阑的拦光范围,实现相应的自由光瞳照明。通过调制LED阵列光源中各个LED光源出射光的功率,即可在光瞳面得到所需的能量分布。这种光瞳调制原理与结构简单,便于安装调试,安全性高,模式切换速度快,成本低廉。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)