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1. (WO2017090129) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2017/090129 International Application No.: PCT/JP2015/083085
Publication Date: 01.06.2017 International Filing Date: 25.11.2015
IPC:
H01J 37/248 (2006.01) ,H02J 50/00 (2016.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
248
Components associated with high voltage supply
[IPC code unknown for H02J 50]
Applicants:
株式会社日立製作所 HITACHI, LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内一丁目6番6号 6-6, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008280, JP
Inventors:
川▲崎▼ 猛 KAWASAKI Takeshi; JP
Agent:
ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.; 東京都中央区日本橋茅場町二丁目13番11号 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025, JP
Priority Data:
Title (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
Abstract:
(EN) The purpose of the present invention is to provide a charged particle beam device capable of continuous stable operation with low noise and high efficiency. In the charged particle beam device, a high-voltage power source (103) and a charged particle gun (114) containing a charged particle source are connected through a high-voltage cable (106). The charged particle beam device comprises: a power-receiving coil of a power-send-receive device (124) installed in a hollow portion of the high-voltage cable (106) and supplying the power used in the charged particle gun (114); and a power-sending coil of the power-send-receive device (124) installed on the outer side of the high-voltage cable (106) and sending power. The power is transmitted by magnetic field resonance coupling between the power-sending coil and the power-receiving coil.
(FR) L'objectif de la présente invention est de fournir un dispositif à faisceau de particules chargées pouvant fonctionner de façon stable et continue avec un faible bruit et un haut rendement. Dans le dispositif à faisceau de particules chargées, une source d'alimentation haute tension (103) et un canon à particules chargées (114) contenant une source de particules chargées sont connectés par un câble haute tension (106). Le dispositif à faisceau de particules chargées comprend : une bobine de réception d'énergie d'un dispositif d'émission-réception d'énergie (124) installé dans une partie creuse du câble haute tension (106) et fournissant l'énergie utilisée dans le canon à particules chargées (114) ; et une bobine d'envoi d'énergie du dispositif d'émission-réception d'énergie (124) installé sur le côté extérieur du câble haute tension (106) et envoyant de l'énergie. L'énergie est transmise grâce à un couplage par résonance de champ magnétique entre la bobine d'envoi d'énergie et la bobine de réception d'énergie.
(JA) 低ノイズ、高効率で連続安定運転が可能な荷電粒子線装置を提供するために、高電圧電源(103)と荷電粒子源を含む荷電粒子銃(114)とが高圧ケーブル(106)を介して接続された荷電粒子線装置において、高圧ケーブル(106)の中空部に荷電粒子銃(114)で使用する電力を供給するための送受電装置(124)の受電コイルを、高圧ケーブル(106)の外側には電力を送電するための送受電装置(124)の送電コイルを設置し、送受電コイル間の磁界共振結合により電力を伝送する。
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)