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1. WO2017086086 - FLOW RATE SENSOR

Publication Number WO/2017/086086
Publication Date 26.05.2017
International Application No. PCT/JP2016/081126
International Filing Date 20.10.2016
IPC
G01F 1/692 2006.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW, OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
68by using thermal effects
684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
688using a particular type of heating, cooling or sensing element
69of resistive type
692Thin-film arrangements
G01F 1/698 2006.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW, OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
68by using thermal effects
696Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
698Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
CPC
G01F 1/692
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
68by using thermal effects
684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
688using a particular type of heating, cooling or sensing element
69of resistive type
692Thin-film arrangements
G01F 1/698
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
68by using thermal effects
696Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
698Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
Applicants
  • 日立オートモティブシステムズ株式会社 HITACHI AUTOMOTIVE SYSTEMS, LTD. [JP]/[JP]
Inventors
  • 佐久間 憲之 SAKUMA, Noriyuki
  • 田代 忍 TASHIRO, Shinobu
  • 小野瀬 保夫 ONOSE, Yasuo
  • 土井 良介 DOI, Ryosuke
  • 太田 和宏 OHTA, Kazuhiro
Agents
  • 特許業務法人筒井国際特許事務所 TSUTSUI & ASSOCIATES
Priority Data
2015-22532018.11.2015JP
Publication Language Japanese (ja)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) FLOW RATE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE DÉBIT
(JA) 流量センサ
Abstract
(EN) To achieve a flow rate sensor having high sensitivity and high accuracy. In order to solve the above-mentioned problem, a flow rate sensor of the present invention is provided with: a first heating resistor 3; an upstream temperature measuring resistor 4, which is provided in the upstream of the first heating resistor 3 by being separated from the first heating resistor 3; and a downstream temperature measuring resistor 5, which is provided in the downstream of the first heating resistor 3 by being separated from the first heating resistor 3. The flow rate sensor is also provided with a second heating resistor 6 above the upstream temperature measuring resistor 4, said second heating resistor heating the upstream temperature measuring resistor 4 via an insulating film. The upstream temperature measuring resistor 4 is heated by making the second heating resistor 6 generate heat by supplying power, and a difference between a resistance value of the upstream temperature measuring resistor 4 and a resistance value of the downstream temperature measuring resistor 5 is set within an allowable range, thereby performing zero-point correction of the flow rate sensor.
(FR) L'invention vise à obtenir un capteur de débit ayant une grande sensibilité et une grande précision. Afin de résoudre le problème susmentionné, un capteur de débit selon la présente invention comprend : une première résistance chauffante (3) ; une résistance de mesure de température amont (4), qui est disposée en amont de la première résistance chauffante (3) en étant séparée de la première résistance chauffante (3) ; et une résistance de mesure de température aval (5), qui est disposée en aval de la première résistance chauffante (3) en étant séparée de la première résistance chauffante (3). Le capteur de débit comprend également une seconde résistance chauffante (6) au-dessus de la résistance de mesure de température amont (4). ladite seconde résistance chauffante chauffe la résistance de mesure de température amont (4) par l'intermédiaire d'un film isolant. La résistance de mesure de température amont (4) est chauffée en amenant la seconde résistance chauffante (6) à générer de la chaleur en fournissant de l'énergie, et une différence entre une valeur de résistance de la résistance de mesure de température amont (4) et une valeur de résistance de la résistance de mesure de température aval (5) est définie dans une plage admissible, ce qui permet d'effectuer une correction de point zéro du capteur de débit.
(JA) 高感度および高精度の流量センサを実現する。上記課題を解決するために、流量センサは、第1発熱抵抗体3と、第1発熱抵抗体3から離隔して、第1発熱抵抗体3の上流側に設けられた上流側測温抵抗体4と、第1発熱抵抗体3から離隔して、第1発熱抵抗体3の下流側に設けられた下流側測温抵抗体5とを備え、さらに、上流側測温抵抗体4の上方に、絶縁膜を介して上流側測温抵抗体4を加熱する第2発熱抵抗体6を備える。そして、第2発熱抵抗体6を給電により発熱させて上流側測温抵抗体4を加熱し、上流側測温抵抗体4の抵抗値と下流側測温抵抗体5の抵抗値との差を許容範囲内とすることによって、流量センサのゼロ点補正を行う。
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