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1. (WO2017070528) RELIABLE DEPOSITION OF THIN PARYLENE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2017/070528    International Application No.:    PCT/US2016/058200
Publication Date: 27.04.2017 International Filing Date: 21.10.2016
IPC:
C09D 165/04 (2006.01), B05D 1/02 (2006.01), B05D 3/12 (2006.01)
Applicants: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY [US/US]; Office of Technology Transfer 1200 East California Boulevard MS 201-85 Pasadena, CA 91125 (US)
Inventors: TAI, Yu-Chong; (US).
WANG, Wei; (US).
KANG, Dongyang; (US)
Agent: NJEIM, Patrick; (US).
MATHISON, Mark P.; (US).
SNYDER, Joseph R.; (US).
TRIMBLE, Alexander R.; (US)
Priority Data:
62/245,421 23.10.2015 US
Title (EN) RELIABLE DEPOSITION OF THIN PARYLENE
(FR) DÉPÔT FIABLE DE PARYLÈNE MINCE
Abstract: front page image
(EN)Apparatus, system, and method of depositing thin and ultra-thin parylene are described. In an example, a core deposition chamber is used. The core deposition chamber includes a base and a rigid, removable cover configured to mate and seal with the base to create the core deposition chamber and to define an inside and an outside of the core deposition chamber. The core deposition chamber also includes a conduit through a top of the cover. The conduit has a lumen connecting the inside to the outside of the core deposition chamber. The lumen has a length and a cross-section. The cross-section has a width between 50 μm and 6000 μm. The length is less than 140 times the cross-section width. The core deposition chamber can be placed in an outer deposition chamber and can achieve parylene deposition less than 1 μm thick inside the core deposition chamber.
(FR)La présente invention concerne un appareil, un système et un procédé de dépôt de parylène mince et ultra-mince. Selon un exemple, une chambre de dépôt centrale est utilisée. La chambre de dépôt centrale comprend une base et un couvercle amovible, rigide conçu pour s'accoupler de manière étanche avec la base afin de créer la chambre de dépôt centrale et de définir un intérieur et un extérieur de la chambre de dépôt centrale. La chambre de dépôt centrale comprend également un conduit à travers une partie supérieure du couvercle. Le conduit comporte une lumière reliant l'intérieur à l'extérieur de la chambre de dépôt centrale. La lumière a une longueur et une section transversale. La section transversale a une largeur comprise entre 50 μm et 6 000 μm. La longueur est inférieure à 140 fois la largeur transversale. La chambre de dépôt centrale peut être placée dans une chambre de dépôt externe et permet d'obtenir un dépôt de parylène inférieur à 1 µm d'épaisseur à l'intérieur de la chambre de dépôt centrale.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)