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1. (WO2017070488) DEPOSITION SYSTEM WITH INTEGRATED COOLING ON A ROTATING DRUM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2017/070488    International Application No.:    PCT/US2016/058147
Publication Date: 27.04.2017 International Filing Date: 21.10.2016
IPC:
C23C 14/00 (2006.01), C23C 14/54 (2006.01)
Applicants: DEVITO, Richard [US/US]; (US)
Inventors: DEVITO, Richard; (US)
Agent: MOLLAAGHABABA, Reza; (US)
Priority Data:
62/244,964 22.10.2015 US
Title (EN) DEPOSITION SYSTEM WITH INTEGRATED COOLING ON A ROTATING DRUM
(FR) SYSTÈME DE DÉPÔT AVEC REFROIDISSEMENT INTÉGRÉ SUR UN CYLINDRE ROTATIF
Abstract: front page image
(EN)In one aspect, a system of depositing a film on a substrate is disclosed, which includes at least one metallization source for generating metal atoms, and at least one reactive source for generating at least one reactive ionic species. The system further includes a pair of inner and outer concentric cylinders, where the outer cylinder has first and second openings positioned relative to the metallization source and the reactive source to allow entry of the metal atoms and the reactive ionic species into a metallization region and a reaction region, respectively, between the two cylinders. At least one mount is coupled to the inner cylinder for mounting the substrate thereto such that said substrate is in radiative thermal communication with the inner surface of the outer cylinder, said inner cylinder being rotatable for moving the substrate between the two regions so as to expose the substrate alternatingly to said metal atoms and said reactive ionic species. Further, the outer cylinder includes at least one cooling channel through which a cooling fluid can flow for maintaining the inner surface of the outer cylinder at a temperature suitable for radiative cooling of the substrate.
(FR)Dans un aspect, la présente invention concerne un système de dépôt d’un film sur un substrat, qui comprend au moins une source de métallisation pour générer des atomes métalliques, et au moins une source réactive pour générer au moins une espèce ionique réactive. Le système comprend en outre une paire de cylindres concentriques interne et externe, le cylindre externe ayant des première et deuxième ouvertures positionnées par rapport à la source de métallisation et la source réactive pour permettre l’entrée des atomes métalliques et des espèces ioniques réactives dans une région de métallisation et une région de réaction, respectivement, entre les deux cylindres. Au moins un support est couplé au cylindre interne pour installer le substrat sur celui-ci de sorte que le dit substrat soit en communication thermique rayonnante avec la surface interne du cylindre externe, ledit cylindre interne étant rotatif pour déplacer le substrat entre les deux régions de manière à exposer le substrat de façon alternée auxdits atomes métalliques et auxdites espèces ioniques réactives. En outre, le cylindre externe comprend au moins un canal de refroidissement à travers lequel un fluide de refroidissement peut s’écouler pour maintenir la surface interne du cylindre externe à une température adaptée pour le refroidissement rayonnant du substrat.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)