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1. (WO2017068270) COMPOSITE STRUCTURE AND ASSOCIATED PRODUCTION METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2017/068270    International Application No.:    PCT/FR2016/052675
Publication Date: 27.04.2017 International Filing Date: 17.10.2016
IPC:
H01L 41/08 (2006.01), H01L 41/312 (2013.01), H03H 9/02 (2006.01)
Applicants: SOITEC [FR/FR]; Parc Technologique des Fontaines Chemin des Franques 38190 Bernin (FR)
Inventors: GUENARD, Pascal; (FR).
RADU, Ionut; (FR).
LANDRU, Didier; (FR).
DESBONNETS, Eric; (FR)
Agent: BREESE, Pierre; (FR)
Priority Data:
1559994 20.10.2015 FR
Title (EN) COMPOSITE STRUCTURE AND ASSOCIATED PRODUCTION METHOD
(FR) STRUCTURE COMPOSITE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to a composite structure (9) for an acoustic wave device comprising a heterostructure (5) including: a useful layer (2) of piezoelectric material, having a first and a second face, the first face being arranged at a first bonding interface on a support substrate (1) having a coefficient of thermal expansion less than that of the useful layer (2), the composite structure (9) being characterised in that it comprises a functional layer (6) an entire surface of which is arranged at a second bonding interface on the second face of the useful layer (2) and having a coefficient of thermal expansion less than that of the useful layer (2). The invention also relates to a method for producing a composite structure (9).
(FR)L'invention concerne une structure composite (9) pour dispositif à ondes acoustiques comprenant une hétéro-structure (5) incluant : une couche utile (2) de matériau piézoélectrique, présentant une première et une seconde face, la première face étant disposée au niveau d'une première interface de collage sur un substrat support (1) présentant un coefficient de dilatation thermique inférieur à celui de la couche utile (2), la structure composite (9) étant caractérisée en ce qu'elle comprend une couche fonctionnelle (6) dont toute une surface est disposée au niveau d'une seconde interface de collage sur la seconde face de la couche utile (2) et présentant un coefficient de dilatation thermique inférieur à celui de la couche utile (2 ). L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une structure composite (9).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)