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1. (WO2017067963) MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM AND CONTROL METHOD
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Pub. No.: WO/2017/067963 International Application No.: PCT/EP2016/075047
Publication Date: 27.04.2017 International Filing Date: 19.10.2016
IPC:
H01L 41/04 (2006.01) ,B81B 7/00 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH[DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventors: CURCIC, Michael; DE
Priority Data:
10 2015 220 291.719.10.2015DE
Title (EN) MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM AND CONTROL METHOD
(FR) SYSTÈME MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE
(DE) MIKROELEKTROMECHANISCHES SYSTEM UND STEUERVERFAHREN
Abstract: front page image
(EN) The invention relates to a micro-electro-mechanical system (1) comprising a piezoelectric drive (2) and a control device (3) that is coupled to the piezoelectric drive and designed to control the piezoelectric drive on the basis of a change in the admittance (10) and/or the impedance of the piezoelectric drive. The invention further relates to a corresponding control method.
(FR) La présente invention concerne un système micro-électromécanique (1) comprenant un mécanisme d’entraînement piézoélectrique (2) et un dispositif de commande (3) qui est couplé au mécanisme d’entraînement piézoélectrique et qui est configuré pour exciter le mécanisme d’entraînement piézoélectrique en fonction d’une modification de l’admittance (10) et/ou de l’impédance du mécanisme d’entraînement piézoélectrique. La présente invention concerne en outre un procédé de commande correspondant.
(DE) Die vorliegende Erfindung offenbart ein mikroelektromechanisches System (1) mit einem piezoelektrischen Antrieb (2), und mit einer Steuereinrichtung (3), welche mit dem piezoelektrischen Antrieb gekoppelt ist und ausgebildet ist, den piezoelektrischen Antrieb basierend auf einer Änderung der Admittanz (10) und/oder der Impedanz des piezoelektrischen Antriebs anzusteuern. Ferner offenbart die vorliegende Erfindung ein entsprechendes Steuerverfahren.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)