WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2017064011) DEVICE FOR INSULATING AND SEALING ELECTRODE HOLDERS IN CVD REACTORS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2017/064011    International Application No.:    PCT/EP2016/074230
Publication Date: 20.04.2017 International Filing Date: 10.10.2016
IPC:
C23C 16/24 (2006.01), C01B 33/035 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), F16J 15/10 (2006.01)
Applicants: WACKER CHEMIE AG [DE/DE]; Hanns-Seidel-Platz 4 81737 München (DE)
Inventors: RENNSCHMID, Dominik; (DE).
KRAUS, Heinz; (DE).
KUTZA, Christian; (DE)
Agent: POTTEN, Holger; (DE).
BITTERLICH, Bianca; (DE).
BUDCZINSKI, Angelika; (DE).
DEFFNER-LEHNER, Maria; (DE).
EGE, Markus; (DE).
FRÄNKEL, Robert; (DE).
FRITZ, Helmut; (DE).
MIESKES, Klaus; (DE).
RIMBÖCK, Karl-Heinz; (DE).
SCHUDERER, Michael; (DE)
Priority Data:
10 2015 220 127.9 15.10.2015 DE
Title (DE) VORRICHTUNG ZUR ISOLIERUNG UND ABDICHTUNG VON ELEKTRODENHALTERUNGEN IN CVD REAKTOREN
(EN) DEVICE FOR INSULATING AND SEALING ELECTRODE HOLDERS IN CVD REACTORS
(FR) DISPOSITIF D'ISOLEMENT ET D’ÉTANCHÉITÉ DE SUPPORTS D’ÉLECTRODE DANS DES RÉACTEURS CVD
Abstract: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Isolierung und Abdichtung von Elektrodenhalterungen in CVD Reaktoren, umfassend eine zur Aufnahme eines Filamentstabs geeignete Elektrode auf einer Elektrodenhalterung aus einem elektrisch leitfähigen Material, die in einer Aussparung einer Bodenplatte angebracht ist, wobei zwischen Elektrodenhalterung und Bodenplatte ein elektrisch isolierender Ring aus einem Werkstoff mit einer spezifischen Wärmeleitfähigkeit bei Raumtemperatur von 0,2 - 50 W/mK, einer Mindestbiegefestigkeit von größer als 120 MPa und einem spezifischen elektrischen Widerstand bei Raumtemperatur von größer als 109 Ωcm vorgesehen ist, wobei mindestens zwei ringförmige Dichtelemente zur Abdichtung zwischen Elektrodenhalterung und Bodenplatte vorhanden sind, wobei der elektrisch isolierende Ring oder die Elektrodenhalterung oder die Bodenplatte wenigstens eine Nut umfasst, in denen ein erstes Dichtelement fixiert ist, wobei wenigstens ein zweites nicht in einer Nut fixiertes Dichtelement zwischen elektrisch isolierendem Ring und Bodenplatte oder zwischen elektrisch isolierendem Ring und Elektrodenhalterung vorhanden ist..
(EN)The invention relates to a device for insulating and sealing electrode holders in CVD reactors, comprising an electrode that is suitable for receiving a filament rod and arranged on an electrode holder made of an electrically-conductive material, mounted in a recess of a base plate, wherein an electrically-insulating ring is provided between the electrode holder and base plate, said ring being made of a material with a specific heat conductivity at room temperature of between 0.2 and 50 W/mK, a minimum flexural strength of greater than 120 MPa, and a specific electrical resistance at room temperature of greater than 109 Ωcm, wherein at least two annular sealing elements are provided for sealing between the electrode holder and base plate, the electrically-insulating ring or the electrode holder or the base plate having at least one groove in which a first sealing element is secured, and at least one second sealing element that is not secured in a groove being provided between the electrically-insulating ring and the base plate or between the electrically-insulating ring and the electrode holder.
(FR)La présente invention concerne un dispositif d'isolement et d'étanchéité de supports d’électrode dans des réacteurs CVD, lequel dispositif comprend une électrode appropriée pour recevoir une barre de filaments et agencée sur un support d'électrode, constitué d'une matière électriquement conductrice, qui est monté dans un évidement d'une plaque de base. Une bague électriquement isolante, constituée d’un matériau ayant une conductivité thermique à température ambiante comprise entre 0,2 et 50 W/mK, une résistance minimale à la flexion supérieure à 120 MPa et une résistivité électrique à température ambiante supérieure à 109 Ωcm, est disposée entre le support d’électrode et la plaque de base, au moins deux éléments d'étanchéité annulaires sont prévus pour assurer l'étanchéité entre le support d’électrode et la plaque de base, la bague électriquement isolante ou le support d’électrode ou la plaque de base comporte au moins une rainure dans laquelle est fixé un premier élément d'étanchéité, au moins un deuxième élément d'étanchéité qui n’est pas fixé dans une rainure étant placé entre la bague électriquement isolante et la plaque de base ou entre la bague électriquement isolante et le support d’électrode.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)