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1. (WO2017062274) SYSTEM AND METHOD FOR ELECTRODELESS PLASMA IGNITION IN LASER-SUSTAINED PLASMA LIGHT SOURCE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2017/062274    International Application No.:    PCT/US2016/054733
Publication Date: 13.04.2017 International Filing Date: 30.09.2016
IPC:
H01J 65/04 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventors: CHIMMALGI, Anant; (US).
BRUNNER, Rudolf; (US).
SHCHEMELININ, Anatoly; (US).
BEZEL, Ilya; (US).
KIM, Erik; (US).
PATIL, Rajeev; (US)
Agent: MCANDREWS, Kevin; (US).
MORRIS, Elizabeth M. N.; (US)
Priority Data:
62/236,904 04.10.2015 US
15/280,073 29.09.2016 US
Title (EN) SYSTEM AND METHOD FOR ELECTRODELESS PLASMA IGNITION IN LASER-SUSTAINED PLASMA LIGHT SOURCE
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ POUR ALLUMAGE DE PLASMA SANS ÉLECTRODE DANS UNE SOURCE DE LUMIÈRE À PLASMA ENTRETENU PAR LASER
Abstract: front page image
(EN)An illumination source for igniting and sustaining a plasma in a plasma lamp of a laser-sustained plasma (LSP) broadband source includes one or more ignition lasers configured to ignite the plasma within a gas contained within the plasma lamp. The illumination sources also includes one or more sustaining lasers configured to sustain the plasma. The illumination sources includes a delivery optical fiber one or more optical elements configured to selectively optically couple an output of the one or more ignition lasers and an output of the one or more sustaining lasers to the delivery optical fiber.
(FR)Selon la présente invention, une source d'éclairage pour allumer et entretenir un plasma dans une lampe à plasma d'une source à large bande, à plasma entretenu par laser (LSP), comprend un ou plusieurs lasers d'allumage destinés à allumer le plasma dans un gaz contenu à l'intérieur de la lampe à plasma. Les sources d'éclairage comprennent également un ou plusieurs lasers d'entretien configurés pour entretenir le plasma. Les sources d'éclairage comprennent une fibre optique de distribution, un ou plusieurs éléments optiques configuré pour coupler optiquement de façon sélective une sortie du ou des lasers d'allumage et une sortie du ou des lasers d'entretien à la fibre optique de distribution.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)