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Pub. No.: WO/2017/061318 International Application No.: PCT/JP2016/078670
Publication Date: 13.04.2017 International Filing Date: 28.09.2016
IPC:
G01N 21/95 (2006.01) ,G01B 11/30 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
84
Systems specially adapted for particular applications
88
Investigating the presence of flaws, defects or contamination
95
characterised by the material or shape of the object to be examined
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
30
for measuring roughness or irregularity of surfaces
Applicants: NGK INSULATORS, LTD.[JP/JP]; 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi 4678530, JP
Inventors: KURAHASHI Ryota; JP
MIZUTANI Akihiro; JP
TERAHAI Takafumi; JP
Agent: YOSHITAKE Hidetoshi; JP
ARITA Takahiro; JP
Priority Data:
2015-19854506.10.2015JP
Title (EN) CERAMIC-BODY SURFACE INSPECTING METHOD
(FR) PROCÉDÉ D'INSPECTION DE SURFACE DE CORPS EN CÉRAMIQUE
(JA) セラミックス体の表面検査方法
Abstract:
(EN) Provided is a ceramic-body surface inspecting method with which the presence or absence of a crack can be determined more accurately than hitherto. The method includes: an imaging step for picking up an image of a region for irradiation of a surface for inspection, in a state where the region for irradiation is irradiated with at least one of first illumination light and second illumination light that are emitted to the surface for inspection from directions between which an imaging means is interposed and which are different from each other; a determinant image generating step for generating a determinant image on the basis of the imaging result; and a determining step for making a determination on the basis of the determinant image. When it is assumed that a first determinant image is generated on the basis of a first imaging result obtained in a state where at least the first illumination light is applied and a second determinant image is generated on the basis of a second imaging result in a state where at least the second illumination light is applied, the first and second determinant images are generated such that the presence or absence of a crack can be determined on the basis of the difference, which is found when both of the images are compared, in the formation modes of shadow regions in the respective images.
(FR) L'invention concerne un procédé d'inspection de surface de corps en céramique permettant de déterminer la présence ou l'absence d'une fissure avec plus de précision que les techniques utilisées jusqu'à présent. Le procédé comprend : une étape d'imagerie destinée à prendre une image d'une région destinée à être exposée d'une surface devant être inspectée, dans un état dans lequel la région destinée à être exposée est exposée à une première lumière d'éclairage et/ou à une seconde lumière d'éclairage qui sont émises sur la surface devant être inspectée depuis des directions entre lesquelles est interposé un moyen d'imagerie et qui diffèrent l'une de l'autre ; une étape de génération d'image de déterminant destinée à générer une image de déterminant sur la base du résultat d'imagerie ; et une étape de détermination destinée à réaliser une détermination sur la base de l'image de déterminant. Lorsqu'une première image de déterminant est générée sur la base d'un premier résultat d'imagerie obtenu dans un état dans lequel au moins la première lumière d'éclairage est appliquée et une seconde image de déterminant est générée sur la base d'un second résultat d'imagerie dans un état dans lequel au moins la seconde lumière d'éclairage est appliquée, la première et la seconde image de déterminant sont générées de telle sorte que la présence ou l'absence d'une fissure peut être déterminée sur la base de la différence observée lors de la comparaison des deux images, dans les modes de formation de régions sombres dans les images respectives.
(JA) クラックの有無を従来よりも確実に判定可能なセラミックス体の表面検査方法を提供する。当該方法が、被検査面の被照射領域に対し、撮像手段を挟んだ相異なる方向から被検査面に対して照射される第1と第2の照明光との少なくとも一方を照射した状態で、被照射領域を撮像する撮像工程と、撮像結果に基づいて判定用画像を生成する判定用画像生成工程と、判定用画像に基づいて判定する判定工程と、を備え、少なくとも第1の照明光が照射された状態で得られる第1の撮像結果に基づいて第1の判定用画像が生成され、少なくとも第2の照明光が照射された状態で第2の撮像結果に基づいて第2の判定用画像が生成されるとするときに、第1と第2の判定用画像は、両者を照合した際のそれぞれにおける影領域の形成態様の異同に基づいてクラックの有無が判定可能であるように生成される。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)