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1. (WO2017061162) EVALUATION VALUE CALCULATION METHOD, EVALUATION VALUE CALCULATION PROGRAM, AND EVALUATION VALUE CALCULATION APPARATUS FOR OPTICAL ELEMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2017/061162    International Application No.:    PCT/JP2016/071730
Publication Date: 13.04.2017 International Filing Date: 25.07.2016
IPC:
G01M 11/00 (2006.01), G01B 21/20 (2006.01)
Applicants: HOYA CORPORATION [JP/JP]; 6-10-1 Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 1608347 (JP)
Inventors: MATSUOKA, Shohei; (JP)
Agent: MATSUOKA, Shuhei; (JP).
OYAMA, Takahiro; (JP)
Priority Data:
2015-201027 09.10.2015 JP
Title (EN) EVALUATION VALUE CALCULATION METHOD, EVALUATION VALUE CALCULATION PROGRAM, AND EVALUATION VALUE CALCULATION APPARATUS FOR OPTICAL ELEMENT
(FR) PROCÉDÉ DE CALCUL DE VALEUR D'ÉVALUATION, PROGRAMME DE CALCUL DE VALEUR D'ÉVALUATION, ET APPAREIL DE CALCUL DE VALEUR D'ÉVALUATION POUR ÉLÉMENT OPTIQUE
(JA) 光学素子の評価値算出方法、評価値算出プログラム及び評価値算出装置
Abstract: front page image
(EN)This evaluation value calculation method for an optical element includes: a step for acquiring shape errors, for an inspected surface of the optical element, indicating deviation from a design value; a step for extracting, for positions i on the optical element, components of weighting functions for values, among the acquired shape errors, included within a range which is set with each of the positions i as the center and is twice as large as a radius u smaller than an effective radius; and a step for calculating an evaluation value on the basis of the component of the weighing function at each of the extracted positions i.
(FR)L'invention concerne un procédé de calcul de valeur d'évaluation sur un élément optique, comprenant : une étape consistant à acquérir des erreurs de forme, sur une surface inspectée de l'élément optique, indiquant l'écart par rapport à une valeur de conception ; une étape consistant à extraire, à des positions i sur l'élément optique, des composantes de fonctions de pondération concernant des valeurs, parmi les défauts de forme acquis, se situant à l'intérieur d'une plage qui est définie de manière à ce que chacune des positions i soit le centre de celle-ci et à ce que sa taille soit deux fois supérieure à un rayon u qui est inférieur à un rayon effectif ; et une étape consistant à calculer une valeur d'évaluation sur la base de la composante de la fonction de pondération obtenue à chacune des positions extraites i.
(JA)光学素子の評価値算出方法を、光学素子の被検面について設計値からの偏差である形状誤差を取得するステップと、取得された形状誤差のうち光学素子の各位置iを中心とし且つ有効半径よりも小さい半径uの2倍の範囲内に含まれる値における重み関数の成分を各位置iについて取り出すステップと、取り出された各位置iにおける重み関数の成分に基づいて評価値を算出するステップとを含むものとした。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)