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1. (WO2017060612) ELEMENTARY DEVICE FOR PRODUCING A PLASMA, HAVING A COAXIAL APPLICATOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2017/060612    International Application No.:    PCT/FR2016/052546
Publication Date: 13.04.2017 International Filing Date: 04.10.2016
IPC:
H05H 1/46 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Applicants: SAIREM SOCIETE POUR L'APPLICATION INDUSTRIELLE DE LA RECHERCHE EN ELECTRONIQUE ET MICRO ONDES [FR/FR]; 12 porte du Grand Lyon Neyron 01700 Miribel (FR)
Inventors: LATRASSE, Louis; (FR).
RADOIU, Marilena; (FR)
Agent: CABINET GERMAIN & MAUREAU; 9, rue Gustave Ricard 13006 Marseille (FR)
Priority Data:
15/59459 05.10.2015 FR
Title (EN) ELEMENTARY DEVICE FOR PRODUCING A PLASMA, HAVING A COAXIAL APPLICATOR
(FR) DISPOSITIF ÉLÉMENTAIRE DE PRODUCTION D'UN PLASMA AVEC APPLICATEUR COAXIAL
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to an elementary device (1) for producing a plasma, comprising: a coaxial applicator (2) of microwave power comprising a conductive central core (23), a conductive external shield (24) surrounding said central core, and a medium (25) for propagating microwave energy, said medium being located between the central core and the shield; and a system (3) for coupling to a microwave generator, which system is placed on the shield, wherein the shield has a proximal end plugged with an insulating body (26) made of dielectric material that is transparent to the microwave energy and having an external surface (27) provided to make contact with a gas to be excited that is located in the interior of a chamber, and wherein the insulating body extends exteriorwise from the shield and its external surface (27) is nonplanar and protrudes out of the shield, the outside diameter of the body decreasing from the shielding to its tip. The present invention is applicable to the field of equipment for producing a plasma.
(FR)L'invention porte sur un dispositif élémentaire (1) de production d'un plasma, comprenant un applicateur coaxial (2) de puissance micro-onde comprenant une âme centrale (23) conductrice, un blindage (24) externe conducteur entourant ladite âme centrale, un milieu de propagation (25) d'une énergie micro-onde situé entre l'âme centrale et le blindage, un système de couplage (3) avec un générateur d'énergie micro-onde, disposé sur le blindage, où ce blindage présente une extrémité proximale bouchée par un corps isolant (26) en matériau diélectrique transparent à l'énergie micro-onde et présentant une surface externe (27) prévue pour être au contact avec un gaz à exciter localisé à l'intérieur d'une enceinte, où le corps isolant dépasse extérieurement du blindage et sa surface externe (27) est non plane et saille hors du blindage en présentant un diamètre externe décroissant en partant du blindage jusqu'à son sommet. La présente invention trouve une application dans le domaine des installations de production d'un plasma.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)