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1. (WO2017059314) OPTICAL ISOLATION MODULE
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Pub. No.: WO/2017/059314 International Application No.: PCT/US2016/054914
Publication Date: 06.04.2017 International Filing Date: 30.09.2016
IPC:
G02B 27/10 (2006.01) ,H01S 3/02 (2006.01) ,H05G 2/00 (2006.01) ,G02B 27/40 (2006.01) ,G03F 1/22 (2012.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.[NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventors: TAO, Yezheng; US
BROWN, Daniel, John, William; US
SCHAFGANS, Alexander, Anthony; US
DAS, Palash, Parijat; US
Agent: NGUYEN, Joseph, A.; US
Priority Data:
14/970,40215.12.2015US
62/236,05601.10.2015US
Title (EN) OPTICAL ISOLATION MODULE
(FR) MODULE D'ISOLATION OPTIQUE
Abstract: front page image
(EN) An optical source for a photolithography tool includes a source configured to emit a fist beam of light and a second beam of light, the first beam of light having a first wavelength, and the second beam of light having a second wavelength, the first and second wavelengths being different; an amplifier configured to amplify the first beam of light; and the second beam of light to produce, respectively, a first amplified light beam and a second amplified light beam; and an optical isolator between the source and the amplifier, the optical isolator including: a plurality of dichroic optical elements, and an optical modulator between two of the dichroic optical elements.
(FR) L'invention concerne une source optique pour un outil de photolithographie qui inclut une source servant à émettre un premier faisceau de lumière et un deuxième faisceau de lumière, le premier faisceau de lumière présentant une première longueur d'onde, et le deuxième faisceau de lumière présentant une deuxième longueur d'onde, les première et deuxième longueurs d'onde étant différentes; un amplificateur servant à amplifier le premier faisceau de lumière; et le deuxième faisceau de lumière pour produire, respectivement, un premier faisceau de lumière amplifié et un deuxième faisceau de lumière amplifié; et un isolateur optique entre la source et l'amplificateur, l'isolateur optique incluant : une pluralité d'éléments optiques dichroïques, et un modulateur optique entre deux des éléments optiques dichroïques.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)