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1. (WO2017057726) HEATER CONTROL DEVICE, HEATER CONTROL METHOD, SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2017/057726    International Application No.:    PCT/JP2016/079112
Publication Date: 06.04.2017 International Filing Date: 30.09.2016
IPC:
H05B 3/00 (2006.01), G05D 23/22 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Applicants: SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION [JP/JP]; 5-1, Kasama 2-chome, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2478610 (JP)
Inventors: KINASE, Atsushi; (JP).
MATSUSHIMA, Daisuke; (JP)
Agent: KURATA, Masatoshi; (JP).
NOGAWA, Nobuhisa; (JP).
KOHNO, Naoki; (JP).
INOUE, Tadashi; (JP)
Priority Data:
2015-195369 30.09.2015 JP
Title (EN) HEATER CONTROL DEVICE, HEATER CONTROL METHOD, SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE COMMANDE DE RÉCHAUFFEUR, PROCÉDÉ DE COMMANDE DE RÉCHAUFFEUR, DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) ヒータ制御装置、ヒータ制御方法、基板処理装置及び基板処理方法
Abstract: front page image
(EN)The present invention comprises: a heater 80 that heats a quartz plate 50; thermocouples 60 that detect the temperature of the quartz plate 50; and a heater control unit 100 that controls the heater 80 so as to set the temperature of the quartz plate 50 to be a target temperature value Tx on the basis of temperature information values outputted from the thermocouples 60, wherein four thermocouples 60 are provided in the quartz plate 50, the temperature information values are inputted from the four thermocouples 60, a preprocessing unit 110 determines a representative temperature value T by using, of the inputted temperature information value group, the temperature information values that remain after the minimum temperature information value is excluded, and a feed-back control unit 104 controls the heater 80 so that the representative temperature value T becomes equal to the target temperature value Tx.
(FR)La présente invention comprend : un réchauffeur (80) qui chauffe une plaque de quartz (50) ; des thermocouples (60) qui détectent la température de la plaque de quartz (50) ; et une unité de commande (100) de réchauffeur qui commande le réchauffeur (80) de manière à régler la température de la plaque de quartz (50) à une valeur de température cible (Tx) sur la base de valeurs d’informations de température émises par les thermocouples (60), quatre thermocouples (60) étant disposés dans la plaque de quartz (50), les valeurs d’informations de température étant entrées depuis les quatre thermocouples (60), une unité de prétraitement (110) déterminant une valeur de température représentative (T) au moyen, dans le groupe de valeurs d’informations de température entrées, des valeurs d’informations de température qui restent après que la valeur d’informations de température minimale est exclue, et une unité de commande rétroactive (104) commandant le réchauffeur (80) de sorte que la valeur de température représentative (T) devienne égale à la valeur de température cible (Tx).
(JA)石英プレート50を加熱するヒータ80と、石英プレート50の温度を検出する熱電対60と、熱電対60から出力される温度情報値に基づいて石英プレート50の温度を目標温度値Txとするようにヒータ80を制御するヒータ制御部100において、熱電対60は石英プレート50に4つ設けられ、4つの熱電対60から温度情報値が入力され、入力された温度情報値群のうち、最小値の温度情報値を除いた残りの温度情報値を用いて代表温度値Tを求める前処理ユニット110と、代表温度値Tが目標温度値Txとなるようにヒータ80を制御するフィードバック制御部104とを有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)