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1. (WO2017057539) EXPOSURE DEVICE AND EXPOSURE METHOD, AND FLAT-PANEL DISPLAY MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2017/057539    International Application No.:    PCT/JP2016/078764
Publication Date: 06.04.2017 International Filing Date: 29.09.2016
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290 (JP)
Inventors: SHIRATO, Akinori; (JP).
SHIBUYA, Takashi; (JP)
Agent: TATEISHI, Atsuji; (JP)
Priority Data:
2015-195269 30.09.2015 JP
Title (EN) EXPOSURE DEVICE AND EXPOSURE METHOD, AND FLAT-PANEL DISPLAY MANUFACTURING METHOD
(FR) DISPOSITIF D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉCRAN PLAT
(JA) 露光装置及び露光方法、並びにフラットパネルディスプレイ製造方法
Abstract: front page image
(EN)A control system controls the drive system of a substrate holder on the basis of position information measured by a measurement system, and correction information for compensating for measurement error in the measurement system, which includes an encoder system, wherein the measurement error results from movement of at least one of multiple grid regions (RG) (the scales (152)), multiple heads (66a-66d) and a substrate holder (34). During movement of the substrate holder in the X axis direction, a measurement beam from each of the multiple heads leaves one of the multiple grid regions (RG) and enters another, adjacent grid region (RG).
(FR)L'invention concerne un système de commande qui commande le système d'entraînement d'un support de substrat sur la base d'informations de position mesurées par un système de mesure, et d'informations de correction pour compenser une erreur de mesure du système de mesure, qui comprend un système de codage, l'erreur de mesure résultant du mouvement de multiples régions de grille (RG) (les échelles (152)) et/ou de multiples têtes (66a à 66d) et/ou d'un support de substrat (34). Pendant le mouvement du support de substrat dans la direction de l'axe X, un faisceau de mesure provenant de chacune des têtes multiples quitte l'une des multiples régions de grille (RG) et entre dans une autre région de grille (RG) adjacente.
(JA)制御系は、複数の格子領域(RG)(スケール(152))、複数のヘッド(66a~66d)、および基板ホルダ(34)の移動の少なくもと1つに起因して生じるエンコーダシステムを含む計測系の計測誤差を補償するための補正情報と、計測系で計測される位置情報と、に基づいて、基板ホルダの駆動系を制御し、複数のヘッドはそれぞれ、X軸方向の基板ホルダの移動中、ヘッドからの計測ビームが複数の格子領域(RG)の1つから外れるととともに、隣接する別の格子領域(RG)に乗り換える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)