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1. (WO2017057471) EXPOSURE DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING FLAT PANEL DISPLAY, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE, AND EXPOSURE METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2017/057471    International Application No.:    PCT/JP2016/078642
Publication Date: 06.04.2017 International Filing Date: 28.09.2016
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290 (JP)
Inventors: AOKI, Yasuo; (JP)
Agent: TATEISHI, Atsuji; (JP)
Priority Data:
2015-192792 30.09.2015 JP
Title (EN) EXPOSURE DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING FLAT PANEL DISPLAY, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE, AND EXPOSURE METHOD
(FR) DISPOSITIF D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ÉCRAN PLAT, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D’EXPOSITION
(JA) 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法、並びに露光方法
Abstract: front page image
(EN)An exposure device for scanning and exposing each of a plurality of demarcated sections (S1–S4) of a substrate (P) has: a non-contacting holder (32) that is capable of supporting, without contact, the plurality of demarcated sections (S1–S4), which are in a side-by-side arrangement in a first and/or second direction that are mutually intersecting; a substrate carrier (40) for holding the substrate (P), which is supported without contact by the non-contacting holder (32); an alignment sensor (96) for performing a detection operation to detect a plurality of alignment marks (Mk) provided on the plurality of demarcated sections (S1–S4); and a Y-linear actuator (62) that is held by the substrate carrier (40), the Y-linear actuator (62) moving the substrate carrier (40) relative to the non-contacting holder (32) so that the part of the substrate (P) on which the detection operation was performed is separated from the non-contacting holder (32).
(FR)L’invention concerne un dispositif d'exposition pour balayer et exposer chaque section parmi plusieurs sections (S1-S4) d’un substrat (P), lequel dispositif comporte: un support (32) sans contact pouvant supporter sans contact les sections (S1-S4) alignées côte à côte dans une première et/ou une deuxième direction perpendiculaire l'une à l’autre; un soutien (40) de substrat qui maintient le substrat (P) supporté sans contact par le support (32) sans contact; un capteur (96) d'alignement pour effectuer une opération de détection destinée à détecter plusieurs marques (Mk) d’alignement situées sur les sections (S1-S4); et un actionneur linéaire Y (62) maintenu par le soutien (40) de substrat et déplaçant ce soutien (40) de substrat par rapport au support (32) sans contact, de façon qu’une partie du substrat (P) sur laquelle l’opération de détection a été effectuée soit séparée du support (32) sans contact.
(JA)基板(P)の複数の区画領域(S1-S4)をそれぞれ走査露光する露光装置は、互いに交差する第1及び第2方向の少なくとも一方の方向に並んで配置された前記複数の区画領域(S1-S4)を非接触支持可能な非接触ホルダ(32)と、非接触ホルダ(32)により非接触支持された基板(P)を保持する基板キャリア(40)と、前記複数の区画領域(S1-S4)に設けられた複数のアライメントマーク(Mk)を検出する検出動作を行うアライメントセンサ(96)と、前記基板キャリア(40)に保持され、前記検出動作が行われた基板(P)の一部が非接触ホルダ(32)から外れるように、基板キャリア(40)を非接触ホルダ(32)に対して相対移動させるYリニアアクチュエータ(62)と、を有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)