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1. (WO2017057176) FLOW RATE SENSOR
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Pub. No.: WO/2017/057176 International Application No.: PCT/JP2016/077980
Publication Date: 06.04.2017 International Filing Date: 23.09.2016
IPC:
G01F 1/692 (2006.01)
Applicants: HASEKO, Yoshihiro[JP/JP]; JP (US)
YAMAMOTO, Yota[JP/JP]; JP (US)
MITSUMI ELECTRIC CO., LTD.[JP/JP]; 2-11-2, Tsurumaki, Tama-Shi, Tokyo 2068567, JP (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IR, IS, IT, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW)
Inventors: HASEKO, Yoshihiro; JP
YAMAMOTO, Yota; JP
Agent: ITOH, Tadashige; JP
ITOH, Tadahiko; JP
Priority Data:
2015-19441730.09.2015JP
Title (EN) FLOW RATE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE DÉBIT
(JA) 流量センサ
Abstract: front page image
(EN) The present flow rate sensor (1) is provided with a heating resistor (40) and a plurality of temperature detectors (30-33), and detects the flow rate of a fluid flowing over the temperature detectors (30-33) on the basis of temperature detection results of each of the temperature detectors (30-33), in a state in which the heating resistor (40) has been heated. This flow rate sensor (1) has: a frame-shaped semiconductor substrate provided with an opening; a diaphragm section (20) provided on the semiconductor substrate; and the heating resistor (40) and the temperature detectors (30-33) provided to the diaphragm section (20). The diaphragm section (20) is provided with a thin film structure (20t) for closing the opening, and in a plan view, the thin film structure (20t) has the plurality of temperature detectors (30-33) disposed around the heating resistor (40).
(FR) La présente invention concerne un capteur de débit (1) qui est pourvu d'une résistance chauffante (40) et d'une pluralité de détecteurs de température (30 à 33), et qui détecte le débit d'un fluide s'écoulant sur les détecteurs de température (30 à 33) sur la base de résultats de détection de température de chacun des détecteurs de température (30 à 33), dans un état dans lequel la résistance chauffante (40) a été chauffée. Ce capteur de débit (1) comporte : un substrat semi-conducteur en forme de cadre pourvu d'une ouverture; une section membrane (20) située sur le substrat semi-conducteur; et la résistance chauffante (40) et les détecteurs de température (30 à 33) situés sur la section membrane (20). La section membrane (20) est pourvue d'une structure de film mince (20t) pour fermer l'ouverture, et dans une vue en plan, la structure de film mince (20t) a la pluralité de détecteurs de température (30 à 33) disposée autour de la résistance chauffante (40).
(JA) 本流量センサ(1)は、発熱抵抗体(40)及び複数の温度検出体(30~33)を備え、前記発熱抵抗体(40)を発熱させた状態で、夫々の前記温度検出体(30~33)の温度検出結果に基づいて、前記温度検出体(30~33)上を流れる流体の流量を検出する流量センサであって、開口部を備えた枠状の半導体基板と、前記半導体基板上に設けられたダイヤフラム部(20)と、前記ダイヤフラム部(20)に設けられた発熱抵抗体(40)及び複数の温度検出体(30~33)と、を有し、前記ダイヤフラム部(20)は、前記開口部を塞ぐ薄膜構造体部(20t)を備え、平面視において、前記薄膜構造体部(20t)には、前記発熱抵抗体(40)の周囲に複数の前記温度検出体(30~33)が配置されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)