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1. (WO2017057129) MASS FLOW RATE CONTROL DEVICE AND DIAGNOSTIC METHOD FOR DIFFERENTIAL PRESSURE-TYPE FLOWMETER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2017/057129    International Application No.:    PCT/JP2016/077837
Publication Date: 06.04.2017 International Filing Date: 21.09.2016
IPC:
G05D 7/06 (2006.01)
Applicants: HITACHI METALS, LTD. [JP/JP]; 2-70, Konan 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1088224 (JP)
Inventors: GOTO Takao; (JP)
Agent: PROSPEC PATENT FIRM; 12th Floor, NAGOYA-KS Building, 1-18, Taiko 3-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi, Aichi 4530801 (JP)
Priority Data:
2015-192680 30.09.2015 JP
Title (EN) MASS FLOW RATE CONTROL DEVICE AND DIAGNOSTIC METHOD FOR DIFFERENTIAL PRESSURE-TYPE FLOWMETER
(FR) DISPOSITIF DE RÉGULATION DE DÉBIT MASSIQUE ET PROCÉDÉ DE DIAGNOSTIC POUR DÉBITMÈTRE À PRESSION DIFFÉRENTIELLE
(JA) 質量流量制御装置、及び差圧式流量計の診断方法
Abstract: front page image
(EN)According to the present invention, a recording means records the value of the pressure of a fluid on the downstream side of a differential pressure generation means in the period from a flow rate control valve being opened and control of the flow rate being started or the flow rate control valve being closed and control of the flow rate being stopped until the measured flow rate becomes stable. A diagnosis means makes a comparison between a management value acquired on the basis of the value of the pressure of the fluid on the downstream side recorded by the recording means and a management value for when a fault is absent in the flowmeter, and diagnoses the occurrence of a fault in the flowmeter when the absolute value of the difference between the management values exceeds a threshold value. Preferably, a mechanical-type pressure-regulating valve is further disposed adjacent to the upstream side of the flowmeter. It is thereby possible to provide a mass flow rate control device and a diagnostic method for a differential pressure-type flowmeter with which it is possible to diagnose, in a simple manner, the occurrence of a fault in a differential pressure-type flowmeter without providing a time dedicated to performing a diagnosis exclusively.
(FR)Selon la présente invention, un moyen d'enregistrement enregistre la valeur de la pression d'un fluide du côté aval d'un moyen de génération de pression différentielle dans la période depuis l'ouverture d'une soupape de régulation de débit et le démarrage de la régulation du débit d'écoulement ou la fermeture de la soupape de régulation de débit et l'arrêt de la régulation du débit d'écoulement jusqu'à ce que le débit mesuré devienne stable. Un moyen de diagnostic effectue une comparaison entre une valeur de gestion acquise sur la base de la valeur de la pression du fluide du côté aval enregistrée par le moyen d'enregistrement et une valeur de gestion en l'absence de défaut dans le débitmètre, et permet de diagnostiquer l'occurrence d'un défaut dans le débitmètre lorsque la valeur absolue de la différence entre les valeurs de gestion dépasse une valeur de seuil. De préférence de type mécanique, une soupape de régulation de pression est en outre disposée de manière adjacente au côté amont du débitmètre. Il est ainsi possible de fournir un dispositif de régulation de débit massique et un procédé de diagnostic pour un débitmètre à pression différentielle avec lequel il est possible de diagnostiquer, d'une manière simple, l'apparition d'un défaut dans un débitmètre à pression différentielle sans requérir une période de temps exclusivement dédiée à la mise en œuvre d'un diagnostic.
(JA)記録手段により流量制御弁が開いて流量の制御が開始されたとき又は流量制御弁が閉じて流量の制御が停止されたときから測定流量が安定するまでの期間における差圧発生手段の下流側における流体の圧力の値を記録し、診断手段により記録手段が記録した下流側における流体の圧力の値に基づいて取得される管理値を、流量計に異常が発生していないときの管理値と対比し、両者の差の絶対値が閾値を超えたときに前記流量計に異常が発生したと診断する。流量計の上流側に隣接して機械式調圧弁をさらに配置することが好ましい。これにより、専ら診断を実施するための時間を設けることなく差圧式の流量計の異常の発生を簡便に診断することができる質量流量制御装置及び差圧式流量計の診断方法を提供することができる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)