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1. (WO2017055931) OPTICAL SCANNING MODULE AND OPTICAL SCANNING CONTROL DEVICE
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Pub. No.: WO/2017/055931 International Application No.: PCT/IB2016/001637
Publication Date: 06.04.2017 International Filing Date: 18.11.2016
IPC:
G02B 26/10 (2006.01) ,B81B 7/02 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01)
Applicants: YAMADA, Tsukasa[JP/JP]; JP (US)
WAKASUGI, Takahiro[JP/JP]; JP (US)
KASAHARA, Shinobu[JP/JP]; JP (US)
MITSUMI ELECTRIC CO., LTD.[JP/JP]; 2-11-2, Tsurumaki, Tama-Shi Tokyo 206-8567, JP (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IR, IS, IT, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW)
Inventors: YAMADA, Tsukasa; JP
WAKASUGI, Takahiro; JP
KASAHARA, Shinobu; JP
Agent: ITOH, Tadashige; 16th Floor, Marunouchi MY PLAZA (Meiji Yasuda Seimei Building) 1-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku Tokyo 100-0005, JP
Priority Data:
2015-19687202.10.2015JP
Title (EN) OPTICAL SCANNING MODULE AND OPTICAL SCANNING CONTROL DEVICE
(FR) MODULE DE BALAYAGE OPTIQUE ET DISPOSITIF DE COMMANDE DE BALAYAGE OPTIQUE
(JA) 光走査モジュール、光走査制御装置
Abstract: front page image
(EN) The purpose of the present invention is to provide an optical scanning module capable of reducing crosstalk between sensor wires and drive wires. This optical scanning module is equipped with an optical scanning device which scans incident light by oscillating a mirror, and a package in which the optical scanning device is installed. The optical scanning device is provided with displacement sensors that detect the oscillation angle of the mirror. Sensor wires (PS) connected to the displacement sensors and drive wires over which travels a drive signal for oscillating the mirror are led into the package from the optical scanning device. Wiring layers (L1, L2) having the sensor wires and the drive wires (PD) formed thereon are stacked. The sensor wires and drive wires are disposed so as not to overlap in plan view of the layers. With regard to a sensor wire and a drive wire in the same wiring layer, a GND wire (PG) is provided between the adjacent sensor wire and drive wire.
(FR) La présente invention se rapporte à un module de balayage optique qui est muni d'un dispositif de balayage optique balayant la lumière incidente grâce à l'oscillation d'un miroir, et d'un boîtier dans lequel le dispositif de balayage optique est installé. Ce dispositif de balayage optique est pourvu de capteurs de déplacement qui détectent l'angle d'oscillation du miroir. Des fils de capteur connectés aux capteurs de déplacement et des fils d'attaque parcourus par un signal d'attaque permettant de faire osciller le miroir partent du dispositif de balayage optique pour arriver au boîtier. Des couches de câblage dans lesquelles sont formés les fils de capteur et les fils d'attaque sont empilées. Les fils de capteur et les fils d'attaque sont disposés de manière à ne pas se chevaucher dans une vue en plan des couches. En ce qui concerne un fil de capteur et un fil d'attaque dans la même couche de câblage, un fil de terre (GND) se situe entre un fil de capteur et un fil d'attaque adjacents.
(JA) 本発明は、センサ配線と駆動配線との間に生じるクロストークを低減可能な光走査モジュールを提供することを目的とする。 本発明の光走査モジュールは、ミラーを揺動させて入射光を走査する光走査装置と、前記光走査装置を搭載するパッケージと、を備え、前記光走査装置は、前記ミラーの振角を検出する変位センサを有し、前記変位センサに接続されるセンサ配線(Ps) 、及び前記ミラーを揺動させる駆動信号が通る駆動配線が前記光走査装置から前記パッケージ内に引き回され、前記センサ配線と前記駆動配線(PD) とが形成される配線層(L1,L2) は積層され、前記センサ配線と前記駆動配線とは各層の平面視において重複しないように配置され、同一配線層内の前記センサ配線と前記駆動配線とは、隣接する前記センサ配線と前記駆動配線との間にGND配線(PG) が設けられる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)