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1. (WO2017054890) VARIABLE SHAPER SHIELD FOR EVAPORATORS AND METHOD FOR DEPOSITING AN EVAPORATED SOURCE MATERIAL ON A SUBSTRATE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2017/054890 International Application No.: PCT/EP2015/072865
Publication Date: 06.04.2017 International Filing Date: 02.10.2015
IPC:
C23C 14/24 (2006.01) ,C23C 14/04 (2006.01) ,H01L 51/00 (2006.01)
Applicants: DIEGUEZ-CAMPO, Jose Manuel[ES/DE]; DE (US)
BANGERT, Stefan[DE/DE]; DE (US)
LANDGRAF, Heike[DE/DE]; DE (US)
LOPP, Andreas[DE/DE]; DE (US)
APPLIED MATERIALS, INC.; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventors: DIEGUEZ-CAMPO, Jose Manuel; DE
BANGERT, Stefan; DE
LANDGRAF, Heike; DE
LOPP, Andreas; DE
Agent: ZIMMERMANN & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Josephspitalstr. 15 80331 München, DE
Priority Data:
Title (EN) VARIABLE SHAPER SHIELD FOR EVAPORATORS AND METHOD FOR DEPOSITING AN EVAPORATED SOURCE MATERIAL ON A SUBSTRATE
(FR) ÉCRAN DE FAÇONNAGE DE FORME VARIABLE POUR ÉVAPORATEURS ET PROCÉDÉ POUR LE DÉPÔT D'UN MATÉRIAU SOURCE ÉVAPORÉ SUR UN SUBSTRAT
Abstract: front page image
(EN) A shielding device (320) for an evaporation source configured to guide evaporated source material through a plurality of outlets distributed along a length direction of the evaporation source. The shielding device including three or more spaced-apart shaper shield segments (325) configured for blocking evaporated source material (312) depending on the emission angle of the plume of evaporated source material from the plurality of outlets in a plane parallel to the length direction of the evaporation source.
(FR) La présente invention concerne un dispositif écran (320) pour une source d'évaporation configuré pour guider un matériau source évaporé à travers une pluralité de sorties réparties le long d'une direction longitudinale de la source d'évaporation. Le dispositif écran comprend trois segments écrans de façonnage (325) ou plus espacés les uns des autres, configurés pour bloquer le matériau source évaporé (312) en fonction de l'angle d'émission du panache de matériau source évaporé à partir de la pluralité de sorties dans un plan parallèle au sens de la longueur de la source d'évaporation.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)