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1. (WO2017041471) RESOURCE-SAVING ACIDIC ETCHING WASTE SOLUTION REUSE AND RECOVERY SYSTEM
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Pub. No.: WO/2017/041471 International Application No.: PCT/CN2016/077065
Publication Date: 16.03.2017 International Filing Date: 23.03.2016
IPC:
C23F 1/46 (2006.01)
C CHEMISTRY; METALLURGY
23
COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
F
NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACES; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25247
1
Etching metallic material by chemical means
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Regeneration of etching compositions
Applicants:
成都虹华环保科技股份有限公司 CHENGDU HONGHUA ENVIRONMENTAL SCIENCE & TECHNOLOGY CO., LTD [CN/CN]; 中国四川省成都市 高新区西芯大道4号 No.4, Xixin Rd, Hi-Tech Industrial Development Zone Chengdu, Sichuan 610000, CN
Inventors:
韦建敏 WEI, Janmin; CN
吴梅 WU, Mei; CN
赵兴文 ZHAO, Xingwen; CN
张晓蓓 ZHANG, Xiaobei; CN
张小波 ZHANG, Xiaobo; CN
Agent:
成都金英专利代理事务所 CHENGDU JINYING PATENT FIRM; 中国四川省成都市 青羊区光华东三路489号西环广场1栋12层 12/F, Bldg 1, Xihuan Plaza No.489, the Third Guanghua Eastern Road, Qingyang District Chengdu, Sichuan 610072, CN
Priority Data:
201510569177.809.09.2015CN
201520694170.409.09.2015CN
Title (EN) RESOURCE-SAVING ACIDIC ETCHING WASTE SOLUTION REUSE AND RECOVERY SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE RÉCUPÉRATION ET DE RÉUTILISATION DE SOLUTION RÉSIDUAIRE DE GRAVURE À L'ACIDE ASSURANT DES ÉCONOMIES DE RESSOURCES
(ZH) 一种可节约资源的酸性蚀刻废液循环再生系统
Abstract:
(EN) A resource-saving acidic etching waste solution recycling and recovery system comprises: an etching solution treatment system; a chlorine gas recycling system; and a recovered solution reuse system. The etching solution treatment system comprises an etching production line (1); a mother liquor storage tank (2); an electrolytic cell; and a dissolution and absorption system (6). The electrolytic cell comprises a cathode compartment (3) and an anode compartment (5). The mother liquor storage tank (2), the cathode compartment (3), the anode compartment (5) and the dissolution and absorption system (6) sequentially communicate with each other. The etching production line (1) respectively communicates with the mother liquor storage tank (2) and the dissolution and absorption system (6). The chlorine gas recycling system comprises a gas-scrubbing system (7) and a tail-gas treatment system (8). The recovered solution reuse system comprises a recovered solution storage tank (10) and a recovered solution treatment system (11). The anode compartment (5), the gas-scrubbing system (7) and the tail-gas treatment system (8) sequentially communicate with each other. The acidic etching waste solution reuse and recovery system is configured to treat an acidic etching waste solution, and can perform an off-line production operation, save costs and resources, and prevent environmental pollution.
(FR) Cette invention concerne un système de récupération et de réutilisation de solution résiduaire de gravure à l'acide assurant des économies de ressources, comprenant : un système de traitement de solution de gravure ; un système de recyclage de gaz de chlore ; et un système de réutilisation de solution récupérée. Ledit système de traitement de solution de gravure comprend une ligne de production de gravure (1) ; un réservoir de stockage de liqueur mère (2) ; une cellule électrolytique ; et un système d'absorption et de dissolution (6). Ladite cellule électrolytique comprend un compartiment de cathode (3) et un compartiment d'anode (5). Ledit réservoir de stockage de liqueur mère (2), le compartiment de cathode (3), le compartiment d'anode (5) et le système d'absorption et de dissolution (6) communiquent séquentiellement l'un avec l'autre. Ladite ligne de production de gravure (1) communique respectivement avec le réservoir de stockage de liqueur mère (2) et le système d'absorption et de dissolution (6). Ledit système de recyclage de gaz de chlore comprend un système d'épuration de gaz (7) et un système de traitement des gaz de queue (8). Ledit système de réutilisation de solution récupérée comprend un réservoir de stockage de solution récupérée (10) et un système de traitement de solution récupérée (11). Le compartiment d'anode (5), le système d'épuration de gaz (7) et le système de traitement des gaz de queue (8) communiquent séquentiellement l'un avec l'autre. Ledit système de récupération et de réutilisation de solution résiduaire de gravure à l'acide est configuré pour traiter une solution résiduaire de gravure acide, et il peut effectuer une opération de production hors ligne, économiser les coûts et les ressources, et éviter la pollution environnementale.
(ZH) 一种可节约资源的酸性蚀刻废液循环再生系统,包括蚀刻液处理系统、氯气回收系统和再生液循环系统,蚀刻液处理系统包括蚀刻生产线(1)、母液储存罐(2)、电解槽和溶解吸收系统(6),电解槽包括阴极槽(3)和阳极槽(5),母液储存罐(2)、阴极槽(3)、阳极槽(5)、溶解吸收系统(6)依次连通,蚀刻生产线(1)分别与母液储存罐(2)和溶解吸收系统(6)连通,氯气回收系统包括洗气系统(7)和尾气处理系统(8),再生液循环系统包括再生液储罐(10)和再生液处理系统(11),阳极槽(5)、洗气系统(7)和尾气处理系统(8)依次连通。该酸性蚀刻废液循环再生系统用于处理酸性蚀刻废液,可离线生产、节约成本和资源,防止环境污染。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)