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1. (WO2017038329) ACTIVE ENERGY RAY CURABLE COMPOSITION FOR PHOTORESISTS
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Pub. No.: WO/2017/038329 International Application No.: PCT/JP2016/072180
Publication Date: 09.03.2017 International Filing Date: 28.07.2016
IPC:
G03F 7/038 (2006.01)
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
004
Photosensitive materials
038
Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
Applicants:
ダイセル・オルネクス株式会社 DAICEL-ALLNEX LTD. [JP/JP]; 東京都中央区日本橋3丁目6-2 3-6-2 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo 1030027, JP
Inventors:
相模貴雄 SAGAMI, Takao; JP
Agent:
特許業務法人後藤特許事務所 GOTO & CO.; 大阪府大阪市北区紅梅町2番18号 2-18, Kobai-cho, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300038, JP
Priority Data:
2015-17102931.08.2015JP
Title (EN) ACTIVE ENERGY RAY CURABLE COMPOSITION FOR PHOTORESISTS
(FR) COMPOSITION DURCISSABLE PAR RAYONNEMENT D’ÉNERGIE ACTIVE POUR PHOTORÉSINES
(JA) フォトレジスト用活性エネルギー線硬化性組成物
Abstract:
(EN) Provided is an active energy ray curable composition for photoresists, which has excellent heating stability and exhibits good curability when cured. An active energy ray curable composition for photoresists, which contains an acrylic copolymer resin (A), an acrylic copolymer resin (B) and a photopolymerization initiator (C), and wherein: the acrylic copolymer resin (A) has a (meth)acryloyl group and a carboxyl group in side chains; and the acrylic copolymer resin (B) has a (meth)acryloyl group and a carboxyl group in side chains, while having a resin skeleton which is different from that of the acrylic copolymer resin (A).
(FR) L'invention concerne une composition durcissable par rayonnement d'énergie active pour photorésines, qui a une excellente stabilité de chauffage et présente une bonne aptitude au durcissement lorsqu'elle est durcie. Une composition durcissable par rayonnement d'énergie active pour photorésines, qui contient une résine de copolymère acrylique (A), une résine de copolymère acrylique (B) et un initiateur de photopolymérisation (C), et dans laquelle : la résine de copolymère acrylique (A) a un groupe (méth)acryloyle et un groupe carboxyle dans des chaînes latérales ; et la résine de copolymère acrylique (B) a un groupe (méth)acryloyle et un groupe carboxyle dans des chaînes latérales, tout en ayant un squelette de résine qui est différent de celui de la résine de copolymère acrylique (A).
(JA) 加熱安定性に優れ、硬化した際も良好な硬化性を有するフォトレジスト用活性エネルギー線硬化性組成物を提供する。 アクリル系共重合樹脂(A)、アクリル系共重合樹脂(B)、及び光重合開始剤(C)を含有するフォトレジスト用活性エネルギー線硬化性組成物であって、 アクリル系共重合樹脂(A)が、側鎖に(メタ)アクリロイル基、及びカルボキシル基を有するアクリル系共重合樹脂であり、 アクリル系共重合樹脂(B)が、側鎖に(メタ)アクリロイル基、及びカルボキシル基を有し、前記のアクリル系共重合樹脂(A)とは樹脂骨格が異なるアクリル系共重合樹脂であるフォトレジスト用活性エネルギー線硬化性組成物。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)