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1. (WO2017038219) OBSERVATION DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2017/038219 International Application No.: PCT/JP2016/068638
Publication Date: 09.03.2017 International Filing Date: 23.06.2016
IPC:
G02B 17/08 (2006.01) ,G01B 11/06 (2006.01) ,G02B 21/00 (2006.01) ,G02B 21/02 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
17
Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
08
Catadioptric systems
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02
for measuring length, width, or thickness
06
for measuring thickness
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21
Microscopes
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21
Microscopes
02
Objectives
Applicants:
株式会社目白67 MEJIRO 67 INC. [JP/JP]; 東京都豊島区目白4-15―21 4-15-21, Mejiro, Toshima-ku, Tokyo 1710031, JP
Inventors:
上原 誠 UEHARA, Makoto; JP
Agent:
特許業務法人 津国 TSUKUNI & ASSOCIATES; 東京都千代田区麹町5-3-1 麹町ビジネスセンター Kojimachi Business Center, 5-3-1, Kojimachi, Chiyoda-ku, Tokyo 1020083, JP
Priority Data:
2015-17262602.09.2015JP
Title (EN) OBSERVATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'OBSERVATION
(JA) 観察装置
Abstract:
(EN) The present invention solves the problem that, in an observation device such as an ellipsometer, aberration in an image formed by an equal-magnification reflection type image forming optical system becomes large. An ellipsometer 100 is provided with an image forming optical system 30 for imaging, on a light receiving surface 40, luminous flux of reflection light from an object surface S. The image forming optical system 30 includes a concave main mirror 32, a convex auxiliary mirror 34, and a drawing plane mirror 36. The image forming optical system 30 is formed of an equal-magnification reflection type image forming optical system which can cause luminous flux of reflection light from the object surface S to be reflected by the concave main mirror 32, the convex auxiliary mirror 34, and the concave main mirror 32, in this order, and then, image the luminous flux on the light receiving surface 40 via the drawing plane mirror 36. The convex auxiliary mirror 34 is a rear surface mirror.
(FR) La présente invention résout le problème selon lequel, dans un dispositif d'observation tel qu'un ellipsomètre, une aberration dans une image, formée par un système optique de formation d'image de type à réflexion à grossissement identique, devient importante. Un ellipsomètre (100) comprend un système optique de formation d'image (30) pour former une image, sur une surface de réception de lumière (40), du flux lumineux de la lumière de réflexion provenant d'une surface d'objet (S). Le système optique de formation d'image (30) comprend un miroir principal concave (32), un miroir auxiliaire convexe (34), et un miroir plan de dessin (36). Le système optique de formation d'image (30) est formé d'un système optique de formation d'image de type à réflexion à grossissement identique qui peut amener le flux lumineux de la lumière de réflexion provenant de la surface de l'objet (S) à être réfléchi par le miroir principal concave (32), le miroir auxiliaire convexe (34), et le miroir principal concave (32), dans cet ordre, et ensuite, former une image du flux lumineux sur la surface de réception de lumière (40) par l'intermédiaire du miroir plan de dessin (36). Le miroir auxiliaire convexe (34) est un miroir de surface arrière.
(JA) エリプソメータ等の観察装置において、等倍反射型結像光学系によって結像される像の収差が大きくなる問題を解決する。 エリプソメータ100は、物体面Sからの反射光の光束を受光面40に結像させるための結像光学系30を備えている。結像光学系30は、凹面主鏡32、凸面副鏡34、及び引き出し平面ミラー36を含む。結像光学系30は、物体面Sからの反射光の光束を、凹面主鏡32、凸面副鏡34、凹面主鏡32の順番で反射させた後、引き出し平面ミラー36を介して、受光面40に結像させることのできる等倍反射型結像光学系で構成されている。凸面副鏡34は、裏面鏡である。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)