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1. (WO2017038094) DRIVING APPARATUS, POSITIONING APPARATUS, LITHOGRAPHY APPARATUS, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
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Pub. No.: WO/2017/038094 International Application No.: PCT/JP2016/003978
Publication Date: 09.03.2017 International Filing Date: 31.08.2016
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G05D 3/00 (2006.01)
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20
Exposure; Apparatus therefor
G PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
D
SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
3
Control of position or direction
Applicants:
CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501, JP
UTSUNOMIYA UNIVERSITY [JP/JP]; 350 Mine-machi, Utsunomiya-shi, Tochigi 3218505, JP
Inventors:
HIRATA, Mitsuo; JP
SUZUKI, Masayasu; JP
MARUYAMA, Satoshi; JP
Agent:
OHTSUKA, Yasunori; JP
OHTSUKA, Yasuhiro; JP
TAKAYANAGI, Jiro; JP
KIMURA, Shuji; JP
Priority Data:
2015-17118331.08.2015JP
2016-16852930.08.2016JP
Title (EN) DRIVING APPARATUS, POSITIONING APPARATUS, LITHOGRAPHY APPARATUS, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL D'ENTRAÎNEMENT, APPAREIL DE POSITIONNEMENT, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ARTICLES
Abstract:
(EN) A driving apparatus for driving a motor having a coil and a magnet, includes an electric current driver supplying electric current to the coil, and a controller generating electric current command value to be supplied to the electric current driver. The controller includes a first commutation computer (8) generating first electric current command value based on one of command value and calculated value obtained by calculating the command value, a second commutation computer (15) generating second electric current command value based on the command value, a correction value determinator (16) determining a correction value based on the second electric current command value, and a corrector (10) generating the electric current command value based on the first electric current command value and the correction value. When the electric current driver has transfer function of F(s), the correction value determinator (16) has transfer function of (F(s)-1-1).
(FR) L'invention concerne un appareil d'entraînement servant à entraîner un moteur comportant une bobine et un aimant, comprenant un circuit d'attaque de courant électrique appliquant un courant électrique à la bobine, et un organe de commande générant une valeur d'instruction de courant électrique devant être appliquée au circuit d'attaque de courant électrique. L'organe de commande comprend un premier ordinateur de commutation (8) générant une première valeur d'instruction de courant électrique sur la base d'une valeur d'instruction et d'une valeur calculée obtenue par calcul de la valeur d'instruction, un second ordinateur de commutation (15) générant une seconde valeur d'instruction de courant électrique sur la base de la valeur d'instruction, un dispositif de détermination de valeur de correction (16) déterminant une valeur de correction sur la base de la seconde valeur d'instruction de courant électrique, et un correcteur (10) générant la valeur d'instruction de courant électrique sur la base de la première valeur d'instruction de courant électrique et de la valeur de correction. Lorsque le circuit d'attaque de courant électrique a une fonction de transfert F(s), le dispositif de détermination de valeur de correction (16) a une fonction de transfert (F(s)-1-1).
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)