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1. WO2017037885 - ATMOSPHERIC-PRESSURE PLASMA GENERATION DEVICE

Publication Number WO/2017/037885
Publication Date 09.03.2017
International Application No. PCT/JP2015/074919
International Filing Date 02.09.2015
IPC
H05H 1/24 2006.1
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY- CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
1Generating plasma; Handling plasma
24Generating plasma
CPC
H05H 1/2406
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE
1Generating plasma; Handling plasma
24Generating plasma
2406Dielectric barrier discharges
H05H 1/2443
H05H 1/46
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE
1Generating plasma; Handling plasma
24Generating plasma
46using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
H05H 1/466
Applicants
  • 富士機械製造株式会社 FUJI MACHINE MFG. CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventors
  • 神藤 高広 JINDO, Takahiro
Agents
  • 特許業務法人ネクスト NEXT INTERNATIONAL
Priority Data
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) ATMOSPHERIC-PRESSURE PLASMA GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE PLASMA À PRESSION ATMOSPHÉRIQUE
(JA) 大気圧プラズマ発生装置
Abstract
(EN)
This plasma irradiation device 10 comprises a main unit 12, a pair of electrodes 14, 16, a gas supply device 20, and a laser irradiation device 22. The gas supply device 20 supplies treatment gas to inside the main unit 12. Treatment gas that flows through the inside of a cylinder section 23 of the main unit 12 is converted into plasma by voltage being applied to the electrodes 14, 16 and electrical discharge occurring between the electrodes 14, 16. As a result, plasma is ejected in the axial direction of the cylinder section 23 from an opening in an end surface of the cylinder section 23, said end surface being on the opposite side to an end surface on the side that the laser irradiation device 22 is connected to. The laser irradiation device 22 irradiates laser light in the axial direction of the cylinder section 23. As a result, the plasma irradiation position can be visually checked by laser light and plasma can be appropriately irradiated on an object to be treated.
(FR)
Selon l’invention, un dispositif d’irradiation au plasma (10) est équipé d’une partie corps principal (12), d’une paire d’électrodes (14, 16), d’un dispositif d’alimentation en gaz (20) et d’un dispositif d’irradiation au laser (22). Le dispositif d’alimentation en gaz (20) alimente une partie interne de la partie corps principal (12) en gaz traité. Une tension est appliquée sur les électrodes (14, 16), et une décharge électrique se produit entre les électrodes (14, 16), le gaz traité qui circule dans une partie interne d’une partie cylindrique (23) de la partie corps principal (12), étant ainsi changé en plasma. Par conséquent, un plasma provenant d’une ouverture d’une face extrémité de la partie cylindrique (23) côté opposé à la face extrémité côté couplage du dispositif d’irradiation au laser (22), est projeté dans la direction axiale de la partie cylindrique (23). En outre, le dispositif d’irradiation au laser (22) assure une irradiation à la lumière laser dans la direction axiale de la partie cylindrique (23). Il est donc possible de vérifier visuellement une position d’irradiation au plasma à l’aide de la lumière laser, et d’irradier au plasma de manière adéquate un objet à traiter.
(JA)
本発明のプラズマ照射装置10は、本体部12と、1対の電極14,16と、ガス供給装置20と、レーザ照射装置22とを備えている。ガス供給装置20は、本体部12の内部に処理ガスを供給する。そして、電極14,16に電圧が印加され、電極14,16の間に放電が生じることで、本体部12の円筒部23の内部を流れる処理ガスがプラズマ化される。これにより、円筒部23のレーザ照射装置22が連結された側の端面と反対側の端面の開口からプラズマが、円筒部23の軸方向に噴出される。また、レーザ照射装置22は、円筒部23の軸方向にレーザ光を照射する。これにより、プラズマの照射位置をレーザ光によって目視にて確認することが可能となり、プラズマを適切に被処理体に照射することが可能となる。
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