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1. (WO2017036627) DUAL-AXIS ULTRA-ROBUST ROTATION RATE SENSOR FOR AUTOMOTIVE APPLICATIONS
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Pub. No.: WO/2017/036627 International Application No.: PCT/EP2016/064826
Publication Date: 09.03.2017 International Filing Date: 27.06.2016
IPC:
G01C 19/574 (2012.01)
[IPC code unknown for G01C 19/574]
Applicants:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventors:
LASSL, Andreas; DE
KUHLMANN, Burkhard; DE
HATTASS, Mirko; DE
HOEPPNER, Christian; DE
SCHMIDT, Benjamin; DE
BALSLINK, Thorsten; DE
Priority Data:
102015216460.828.08.2015DE
Title (EN) DUAL-AXIS ULTRA-ROBUST ROTATION RATE SENSOR FOR AUTOMOTIVE APPLICATIONS
(FR) CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION À DEUX AXES ULTRAROBUSTE POUR APPLICATIONS DANS LE DOMAINE AUTOMOBILE
(DE) ZWEIACHSIGER ULTRAROBUSTER DREHRATENSENSOR FÜR AUTOMOTIVE ANWENDUNGEN
Abstract:
(EN) The proposal relates to a rotation rate sensor having a substrate having a main extent plane and having at least one first rotation rate sensor structure for detecting a first rotation rate of the rotation rate sensor about an axis substantially parallel to a first axis running parallel to the main extent plane and having at least one second rotation rate sensor structure detecting a second rotation rate of the rotation rate sensor about an axis substantially parallel to a second axis running perpendicular to the main extent plane, wherein the rotation rate sensor comprises a drive device – both for deflecting at least one first structure, which is mobile with respect to the substrate, of the first rotation rate sensor structure and at least one second structure, which is mobile with respect to the substrate and with respect to the first structure, of the first rotation rate sensor structure – and for deflecting at least one third structure, which is mobile with respect to the substrate, the second rotation rate sensor structure and at least one fourth structure, which is mobile with respect to the substrate and with respect to the third structure, of the second rotation rate sensor structure, such that the first, second, third and fourth structures are stimulable to produce a mechanically coupled oscillation.
(FR) L'invention concerne un capteur de vitesse de rotation comprenant un substrat présentant un plan d'étendue principal et présentant au moins une première structure de capteur de vitesse de rotation pour la détection d'une première vitesse de rotation du capteur de vitesse de rotation autour d'un axe sensiblement parallèle à un premier axe s'étendant parallèlement au plan d'étendue principal et comprenant au moins une deuxième structure de capteur de rotation pour la détection d'une deuxième vitesse de rotation du capteur de vitesse de rotation autour d'un axe sensiblement parallèle à un deuxième axe s'étendant perpendiculairement au plan d'étendue principal, le capteur de vitesse de rotation comportant un dispositif d'entraînement, à la fois pour la déviation d'au moins une première structure, mobile par rapport au substrat, de la première structure de capteur de vitesse de rotation et d'au moins une deuxième structure, mobile par rapport au substrat et par rapport à la première structure, de la première structure de capteur de vitesse de rotation, et pour la déviation au moins d'une troisième structure, mobile par rapport au substrat, de la deuxième structure de capteur de vitesse de rotation et d'au moins une quatrième structure, mobile par rapport au substrat et par rapport à la troisième structure, de la deuxième structure de capteur de vitesse de rotation, de telle sorte que la première, la deuxième, la troisième et la quatrième structure peuvent être excitées de manière à vibrer de façon accouplée mécaniquement.
(DE) Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat mit einer Haupterstreckungsebene und mit mindestens einer ersten Drehratensensorstruktur zur Detektion einer ersten Drehrate des Drehratensensors um eine Achse im Wesentlichen parallel zu einer parallel zu der Haupterstreckungsebene verlaufenden ersten Achse und mit mindestens einer zweiten Drehratensensorstruktur zur Detektion einer zweiten Drehrate des Drehratensensors um eine Achse im Wesentlichen parallel zu einer senkrecht zu der Haupterstreckungsebene verlaufenden zweiten Achse vorgeschlagen, wobei der Drehratensensor eine Antriebseinrichtung - sowohl zur Auslenkung mindestens einer gegenüber dem Substrat beweglichen ersten Struktur der ersten Drehratensensorstruktur und mindestens einer gegenüber dem Substrat und gegenüber der ersten Struktur beweglichen zweiten Struktur der ersten Drehratensensorstruktur - als auch zur Auslenkung mindestens einer gegenüber dem Substrat beweglichen dritten Struktur der zweiten Drehratensensorstruktur und mindestens einer gegenüber dem Substrat und gegenüber der dritten Struktur beweglichen vierten Struktur der zweiten Drehratensensorstruktur derart umfasst, dass die erste, zweite, dritte und vierte Struktur zu einer mechanisch gekoppelten Schwingung anregbar sind.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)