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1. (WO2017036102) FIXING APPARATUS AND VAPOR DEPOSITION METHOD
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Pub. No.: WO/2017/036102 International Application No.: PCT/CN2016/074098
Publication Date: 09.03.2017 International Filing Date: 19.02.2016
IPC:
C23C 14/24 (2006.01) ,C23C 14/50 (2006.01)
[IPC code unknown for C23C 14/24][IPC code unknown for C23C 14/50]
Applicants:
京东方科技集团股份有限公司 BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD. [CN/CN]; 中国北京市 朝阳区酒仙桥路10号 No.10 Jiuxianqiao Rd., Chaoyang District Beijing 100015, CN
Inventors:
高昕伟 GAO, Xinwei; CN
王欣欣 WANG, Xinxin; CN
Agent:
北京天昊联合知识产权代理有限公司 TEE&HOWE INTELLECTUAL PROPERTY ATTORNEYS; 中国北京市 东城区建国门内大街28号民生金融中心D座10层陈源 Yuan CHEN 10th Floor, Tower D, Minsheng Financial Center, 28 Jianguomennei Avenue, Dongcheng District Beijing 100005, CN
Priority Data:
201510561608.606.09.2015CN
Title (EN) FIXING APPARATUS AND VAPOR DEPOSITION METHOD
(FR) APPAREIL DE FIXATION ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR
(ZH) 一种固定装置和蒸镀方法
Abstract:
(EN) A fixing apparatus is used for fixing a substrate to be processed to the underside of a bearing base (2) during vapor deposition process. The substrate to be processed includes an underlay substrate (1), and a ferromagnetic material is formed on the front side or back side of the underlay substrate (1). A magnetic field generating apparatus is provided on the back side of the bearing base (2) corresponding to the position of the ferromagnetic material, the magnetic field generating apparatus can generate a magnetic field, in order to make the ferromagnetic material and the magnetic field generating apparatus be close to each other under the effect of the magnetic field generated by the magnetic field generating apparatus, and to fix the front side of the bearing base (2) to the back side of the underlay substrate (1). Also disclosed is a vapor deposition method.
(FR) L'invention concerne un appareil de fixation qui est utilisé pour la fixation d'un substrat à traiter à la face inférieure d'une base de support (2) pendant un processus de dépôt en phase vapeur. Le substrat à traiter comprend un substrat sous-jacent (1), et un matériau ferromagnétique est formé sur le côté avant ou le côté arrière du substrat sous-jacent (1). Un appareil de génération de champ magnétique est fourni sur le côté arrière de la base de support (2) correspondant à la position du matériau ferromagnétique, l'appareil de génération de champ magnétique peut générer un champ magnétique, afin de rapprocher le matériau ferromagnétique et l'appareil de génération de champ magnétique l'un par rapport à l'autre sous l'effet du champ magnétique généré par l'appareil de génération de champ magnétique, et pour fixer le côté avant de la base de support (2) au côté arrière du substrat sous-jacent (1). L'invention concerne également un procédé de dépôt en phase vapeur.
(ZH) 一种固定装置,用于在蒸镀过程中将待处理基板固定在承载基台(2)的下方,待处理基板包括:衬底基板(1),衬底基板(1)的正面或背面形成有铁磁性材料,承载基台(2)的背面对应铁磁性材料的位置设置有磁场发生装置,磁场发生装置产生磁场,以使磁铁材料在磁场发生装置产生的磁场作用下与磁场发生装置彼此趋近,将承载基台(2)的正面与衬底基板(1)的背面固定。还公开了一种蒸镀方法。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)