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1. (WO2017034758) CAM ACTUATED FILAMENT CLAMP
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Pub. No.: WO/2017/034758 International Application No.: PCT/US2016/044762
Publication Date: 02.03.2017 International Filing Date: 29.07.2016
IPC:
H01J 37/08 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
04
Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
08
Ion sources; Ion guns
Applicants:
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; Attn: Denis A. Robitaille 108 Cherry Hill Drive Beverly, Massachusetts 01915, US
Inventors:
BAGGET, John; US
BERINGER, Jason; US
Priority Data:
14/835,78026.08.2015US
Title (EN) CAM ACTUATED FILAMENT CLAMP
(FR) PINCE À FILAMENT ACTIONNÉE PAR CAME
Abstract:
(EN) An ion source filament clamp (100) has a clamp member (102) having first (104) and second ends (106). The first end has one of a cam surface (132) and a cam follower (134), and has first (110) and second (112) portions that are opposed to one another and separated by a slot (114) having a lead opening (116) defined therein to receive a lead of an ion source filament. An actuator pin (120) extends along an actuator pin axis (126) and has first (122) and second sections. The first section (122) is coupled to the first portion (110) of the clamp member. The actuator pin extends through, and is in sliding engagement with, a thru-hole (128) in the second portion of the clamp member. A cam member (108) is operably coupled to the second section (124) of the actuator pin (120). The cam member has a handle (130) and the other of the cam surface (132) and cam follower (134) and is configured to rotate between a clamped position and an undamped position. The cam follower (134) slidingly contacts the cam surface (132). In the clamped position, the cam follower engages the cam surface in a first predetermined manner, thus selectively compressing the first and second portions (110,112) of the clamp member toward one another and exerting a clamping pressure on the lead within the lead opening (116) while inducing a spring tension between the first and second portions of the clamp member. In the undamped position, the cam follower engages the cam surface in a second predetermined manner, wherein the spring tension extends the first and second portions (110,112) of the clamp member apart from one another, therein releasing the clamping pressure on the lead within the lead opening.
(FR) L'invention porte sur une pince à filament source d'ions (100) qui comprend un élément de serrage (102) présentant des première (104) et seconde (106) extrémités. La première extrémité comporte un élément parmi une surface de came (132) et un suiveur de came (134), et comporte des première (110) et seconde (112) parties qui sont en regard l'une de l'autre et séparées par une fente (114) comportant une ouverture de conducteur (116) délimitée en son sein pour recevoir un conducteur d'un filament source d'ions. Une broche d'actionnement (120) s'étend le long d'un axe de broche d'actionnement (126) et comporte des première (122) et seconde sections. La première section (122) est accouplée à la première partie (110) de l'élément de serrage. La broche d'actionnement s'étend dans un trou traversant (128), et est coulissante en contact avec ce dernier, dans la seconde partie de l'élément de serrage. Un élément de came (108) est fonctionnellement accouplé à la seconde section (124) de la broche d'actionnement (120). L'élément de came comporte une poignée (130) et l'autre élément parmi la surface de came (132) et le suiveur de came (134), et est configuré pour tourner entre une position serrée et une position desserrée. Le suiveur de came (134) est en contact coulissant avec la surface de came (132). Dans la position serrée, le suiveur de came est en contact avec la surface de came d'une première manière prédéterminée, comprimant ainsi sélectivement les première et seconde parties (110, 112) de l'élément de serrage l'une vers l'autre et exerçant une pression de serrage sur le conducteur à l'intérieur de l'ouverture de conducteur (116) tout en induisant une tension élastique entre les première et seconde parties de l'élément de serrage. Dans la position desserrée, le suiveur de came est en contact avec la surface de came d'une seconde manière prédéterminée dans laquelle la tension élastique déploie les première et seconde parties (110, 112) de l'élément de serrage à l'écart l'une de l'autre, relâchant en son sein la pression de serrage sur le conducteur à l'intérieur de l'ouverture de conducteur.
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Filing Language: English (EN)