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1. (WO2017034686) HETERODYNE SPECTRALL CONTROLLED INTERFEROMETRY
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Pub. No.: WO/2017/034686 International Application No.: PCT/US2016/041497
Publication Date: 02.03.2017 International Filing Date: 08.07.2016
IPC:
G01N 21/47 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
17
Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
47
Scattering, i.e. diffuse reflection
Applicants:
OLSZAR, Arthur [US/US]; US
Inventors:
OLSZAR, Arthur; US
Agent:
DURANDO, Antonio, R.; US
Priority Data:
14/832,05221.08.2015US
14/834,72725.08.2015US
Title (EN) HETERODYNE SPECTRALL CONTROLLED INTERFEROMETRY
(FR) INTERFÉROMÉTRIE HÉTÉRODYNE SPECTRALEMENT COMMANDÉE
Abstract:
(EN) Heterodyne interferometry is combined with spectrally-controlled interferometry (SCI) to achieve the advantages of both. Phase shifts produced by SCI produce phase-shifted correlograms suitable for heterodyne interferometric analysis, thereby enabling interferometric measurements with conventional common-path apparatus free of coherence noise and scanning-related errors, and with the precision of conventional heterodyne interferometry. A spectrum-modulating light source (10) suitable for the invention is obtained by combining a rotating spiral grating (30) with a multi-slit grating (12) placed in the front focal plane of a collimating lens (14) that propagates the light toward a blazed diffraction grating (18). Another exemplary spectrum-modulating light source (50) is obtained by combining a slit spectrometer with an acousto-optic modulator (40).
(FR) Selon l'invention, l'interférométrie hétérodyne est combinée avec l'interférométrie spectralement commandée (SCI) afin d'obtenir les avantages des deux. Des déphasages produits par la SCI produisent des diagrammes de corrélation à décalage de phase appropriés pour une analyse interférométrique hétérodyne, ce qui permet d'obtenir des mesures interférométriques avec un appareil à trajet commun classique sans bruit de cohérence et erreurs liées au balayage, et avec la précision de l'interférométrie hétérodyne classique. Une source de lumière à modulation de spectre (10) appropriée pour l'invention est obtenue par combinaison d'un réseau de diffraction en spirale rotatif (30) avec un réseau de diffraction à fentes multiples (12) placé dans le plan focal avant d'une lentille de collimation (14) qui propage la lumière vers un réseau de diffraction blazé (18). Une autre source de lumière à modulation de spectre à titre d'exemple (50) est obtenue par combinaison d'un spectromètre à fente avec un modulateur acousto-optique (40).
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)