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1. (WO2017034432) AN ELECTRON BEAM FOCUSING SYSTEM WITH A DIELECTRIC MATERIAL BASED FOCUSING ELEMENT
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Pub. No.: WO/2017/034432 International Application No.: PCT/RU2015/000532
Publication Date: 02.03.2017 International Filing Date: 21.08.2015
IPC:
H01J 35/14 (2006.01) ,G21K 1/087 (2006.01)
[IPC code unknown for H01J 35/14][IPC code unknown for G21K 1/087]
Applicants:
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2 Muenchen, Werner-von-Siemens-Straße 1 80333 München, DE
Inventors:
BONDARENKO, Taras Vladimirovich BONDARENKO, Taras Vladimirovich; RU
BOTYACHKOVA, Alexandra Igorevna BOTYACHKOVA, Alexandra Igorevna; RU
KARPINSKIY, Gennadiy Gennadievich KARPINSKIY, Gennadiy Gennadievich; RU
Agent:
LAW FIRM "GORODISSKY & PARTNERS " LTD; MITS Alexander Vladimirovich, POPOVA Elizaveta Vitalievna Bolshaya Spasskaya str., 25, bldg. 3 Moscow, 129090, RU
Priority Data:
Title (EN) AN ELECTRON BEAM FOCUSING SYSTEM WITH A DIELECTRIC MATERIAL BASED FOCUSING ELEMENT
(FR) SYSTÈME DE FOCALISATION DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS AVEC UN ÉLÉMENT DE FOCALISATION À BASE DE MATÉRIAU DIÉLECTRIQUE
Abstract:
(EN) An electron beam focusing system with a dielectric material based focusing element An electron beam focusing system (1) focuses an electron beam onto a desired focal spot (9) on a target (99). The system includes an electron beam source (10) to provide the electron beam (5) and a focusing element (20) to receive the electron beam and to focus the electron beam onto the desired focal spot on the target. The focusing element is a three dimensional structure (21) having a beam input end (22), a body (30) and a beam output end (28). The beam input end receives the electron beam provided by the electron beam source. The beam output end provides a focused electron beam (7) directed towards the desired focal spot on the target. The body is made of a dielectric material and tapers along an axis disposed between the beam input end and the beam output end. The body encloses a hollow space (32) for a beam path (34) extending from the beam input end to the beam output end.
(FR) Un système de focalisation de faisceau d'électrons (1) focalise un faisceau d'électrons sur un foyer électronique (9) souhaité sur une cible (99). Le système comprend une source de faisceau d'électrons (10) destinée à fournir le faisceau d'électrons (5) et un élément de focalisation (20) permettant de recevoir le faisceau d'électrons et de focaliser le faisceau d'électrons sur le foyer électronique souhaité sur la cible. L'élément de focalisation est une structure tridimensionnelle (21) ayant une extrémité d'entrée de faisceau (22), un corps (30) et une extrémité de sortie de faisceau (28). L'extrémité d'entrée de faisceau reçoit le faisceau d'électrons fourni par la source de faisceau d'électrons. L'extrémité de sortie de faisceau fournit un faisceau d'électrons focalisé (7) dirigé vers le foyer électronique souhaité sur la cible. Le corps est constitué d'un matériau diélectrique et s'effile le long d'un axe disposé entre l'extrémité d'entrée de faisceau et l'extrémité de sortie de faisceau. Le corps renferme un espace creux (32) pour un trajet de faisceau (34) s'étendant depuis l'extrémité d'entrée de faisceau jusqu'à l'extrémité de sortie de faisceau. FIG. 1:
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)