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1. (WO2017033410) DETECTION DEVICE, IMPRINT APPARATUS, METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE, ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, AND DETECTION METHOD
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Pub. No.: WO/2017/033410 International Application No.: PCT/JP2016/003582
Publication Date: 02.03.2017 International Filing Date: 03.08.2016
IPC:
H01L 21/027 (2006.01) ,B29C 59/02 (2006.01)
[IPC code unknown for H01L 21/027][IPC code unknown for B29C 59/02]
Applicants:
CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501, JP
Inventors:
KOMAKI, Takamitsu; JP
Agent:
ABE, Takuma; JP
KUROIWA, Sogo; JP
Priority Data:
2015-16401421.08.2015JP
Title (EN) DETECTION DEVICE, IMPRINT APPARATUS, METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE, ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, AND DETECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF DE DÉTECTION, APPAREIL D'EMPREINTE, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ARTICLE, SYSTÈME OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION
Abstract:
(EN) A detection device includes an illumination optical system configured to illuminate a first alignment mark for detecting a position of an object in a first direction and a second alignment mark for detecting a position of the object in a second direction that is different from the first direction and a detection optical system configured to detect light beams from the alignment marks. The illumination optical system includes an optical element disposed at a position optically conjugate to a surface to be illuminated, and the optical element includes a region configured to form an illumination light beam for illuminating a first portion of the surface to be illuminated with a first angular distribution and a region configured to form an illumination light beam for illuminating a second portion that is different from the first portion of the surface to be illuminated with a second angular distribution that is different from the first angular distribution. The detection optical system is configured to detect a light beam from the first alignment mark in the first portion illuminated with the first angular distribution and to detect a light beam from the second alignment mark in the second portion illuminated with the second angular distribution.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de détection qui comprend un système optique d'éclairage configuré de sorte à éclairer une première marque d'alignement destinée à détecter une position d'un objet dans une première direction et une seconde marque d'alignement destinée à détecter une position de l'objet dans une seconde direction qui est différente de la première direction et un système optique de détection configuré de sorte à détecter des faisceaux de lumière à partir des marques d'alignement. Le système optique d'éclairage comprend un élément optique disposé à une position optiquement conjuguée à une surface qui doit être éclairée, et l'élément optique comprend une région configurée de sorte à former un faisceau de lumière d'éclairage pour éclairer une première partie de la surface qui doit être éclairée à l'aide d'une première distribution angulaire et une région configurée de sorte à former un faisceau de lumière d'éclairage pour éclairer une seconde partie qui est différente de la première partie de la surface qui doit être éclairée à l'aide d'une seconde distribution angulaire qui est différente de la première distribution angulaire. Le système optique de détection est configuré de sorte à détecter un faisceau de lumière à partir de la première marque d'alignement dans la première partie éclairée à l'aide de la première distribution angulaire et à détecter un faisceau de lumière à partir de la seconde marque d'alignement dans la seconde partie éclairée à l'aide de la seconde distribution angulaire.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)