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1. (WO2017032738) PLANAR POSITIONING APPARATUS AND POSITIONING TABLE
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Pub. No.: WO/2017/032738 International Application No.: PCT/EP2016/069796
Publication Date: 02.03.2017 International Filing Date: 22.08.2016
IPC:
H02K 41/03 (2006.01)
H ELECTRICITY
02
GENERATION, CONVERSION, OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
K
DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
41
Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
02
Linear motors; Sectional motors
03
Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
Applicants:
PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO. KG [DE/DE]; Auf der Römerstrasse 1 76228 Karlsruhe, DE
Inventors:
GLÖSS, Rainer; DE
Agent:
VOLKMAR KRUSPIG; Widenmayerstr. 47-50 80538 München, DE
Priority Data:
10 2015 216 199.425.08.2015DE
Title (EN) PLANAR POSITIONING APPARATUS AND POSITIONING TABLE
(FR) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT PLAN ET TABLE DE POSITIONNEMENT
(DE) PLANAR-POSITIONIERVORRICHTUNG UND POSITIONIERTISCH
Abstract:
(EN) The invention relates to a planar positioning apparatus, comprising a stator which comprises a coil arrangement consisting of flat coils, a rotor which is arranged opposite the stator in the operating state of the positioning apparatus and which has a planar magnet arrangement comprising a plurality of rows of magnets, wherein the plane which is spanned by the planar magnet arrangement is arranged parallel to the plane of the coil arrangement, at least one position measuring head, which is arranged within the stator or rotor in the operating state of the positioning apparatus, for detecting the position of the rotor relative to the stator, an area scale which is fixed to the rotor or to the stator in a specific position, and an evaluation and control device for evaluating position signals of the position measuring head and for controlling the application of current to the coil arrangement for controlling the position of the rotor with respect to the stator. The stator or the rotor has at least one window for making the area scale visible for the position measuring head, wherein the area scale extends beyond the window between the coil and magnet arrangement, is placed directly on at least one section of the magnet or the coil arrangement, consists of a material which does not influence the magnetic field between the stator and the rotor, and has associated holding means for ensuring a parallel configuration in relation to the rotor and stator over the entire extent of said area scale.
(FR) L'invention concerne un dispositif de positionnement plan comprenant un stator qui comporte un ensemble de bobines constitué de bobines plates, un rotor disposé en regard du stator dans la position de fonctionnement du dispositif de positionnement, lequel rotor comprend un ensemble d'aimants plan constitué de plusieurs rangées d'aimants, le plan défini par l'ensemble d'aimants plan étant disposé parallèlement au plan de l'ensemble de bobines, au moins une tête de mesure de position disposée à l'intérieur du stator ou du rotor dans la position de fonctionnement du dispositif de positionnement et destinée à la détection de la position du rotor par rapport au stator, une échelle de surface fixée sur le rotor ou sur le stator en une position déterminée, et un dispositif d'évaluation et de commande pour l'évaluation de signaux de position de la tête de mesure de position et pour la commande d'une alimentation en courant électrique de l'ensemble de bobines aux fins de commande de la position du rotor par rapport au stator. Le stator ou le rotor comprend au moins une fenêtre pour rendre l'échelle de surface visible depuis la tête de mesure de position, l'échelle de surface s'étendant au-delà de la fenêtre entre l'ensemble de bobines et l'ensemble d'aimants, étant placée directement sur au moins une partie de l'ensemble d'aimants ou de l'ensemble de bobines, étant constituée d'un matériau n'influençant pas le champ magnétique entre le stator et le rotor, et des moyens de retenue pour garantir une configuration parallèle au rotor et au stator sur toute son étendue lui étant associés.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Planar-Positioniervorrichtung, mit einem Stator, der eine Spulenanordnung aus Flachspulen umfasst, einem in Betriebslage der Positioniervorrichtung dem Stator gegenüberliegend angeordneten Läufer, der eine planare Magnetanordnung aus mehreren Magnetreihen aufweist, wobei die durch die planare Magnetanordnung aufgespannte Ebene parallel zur Ebene der Spulenanordnung angeordnet ist, wenigstens einem in Betriebslage der Positioniervorrichtunginnerhal b des Stators oder Läufers angeordneten Positionsmesskopf zur Erfassung der Lage des Läufers relativ zu m Stator, einem positionstreu an dem Läufer oder an dem Stator fixierten Fiächenmaßstab, u nd ei ner Auswertungs- und Steuereinrichtung zur Auswertung von Positionssignalen des Positionsmesskopfes und zur Steuerung einer Bestromung der Spulenanordnung zur Positionssteuerung des Läufers bezüglich des Stators. Der Stator oder der Läufer weist wenigstens ein Fenster zur Sichtbarmachung des Flächen maßstabes für den Positionsmesskopf auf, wobei der Flächenmaßstab sich über das Fenster hinaus zwischen die Spulen- und Magnetanordnung erstreckt, direkt auf mindestens einem Abschnitt der Magnet- oder der Spulenanordnung aufgelegt ist, aus einem das Magnetfeld zwischen Stator und Läufer nicht beeinflussenden Material besteht und ihm Haltemittel zur Gewährleistung einer über sei ne gesamte Erstreckung zum Läufer und Stator parallelen Konfiguration zugeordnet sind.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)