Some content of this application is unavailable at the moment.
If this situation persist, please contact us atFeedback&Contact
1. (WO2017032733) MICROWAVE GENERATORS AND MANUFACTURE OF SYNTHETIC DIAMOND MATERIAL
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.: WO/2017/032733 International Application No.: PCT/EP2016/069785
Publication Date: 02.03.2017 International Filing Date: 22.08.2016
IPC:
H01J 37/32 (2006.01) ,H05H 1/46 (2006.01)
[IPC code unknown for H01J 37/32][IPC code unknown for H05H 1/46]
Applicants:
ELEMENT SIX TECHNOLOGIES LIMITED [GB/GB]; Global Innovation Centre Fermi Avenue, Harwell Oxford, Didcot Oxfordshire OX11 0QR, GB
Inventors:
BRANDON, John Robert; GB
PERKINS, Neil; GB
Agent:
Matthew Benedict David MITCHELL; GB
MITCHELL, Matthew Benedict David; GB
REEVE, Anna Elizabeth; GB
Priority Data:
1514998.224.08.2015GB
Title (EN) MICROWAVE GENERATORS AND MANUFACTURE OF SYNTHETIC DIAMOND MATERIAL
(FR) GÉNÉRATEURS À MICRO-ONDES ET FABRICATION DE MATÉRIAU DE DIAMANT SYNTHÉTIQUE
Abstract:
(EN) A microwave generator system for use in a microwave plasma enhanced chemical vapour deposition (MPECVD) system,the microwave generator system comprising: a microwave generator unit configured to produce microwaves at an operating power output suitable for fabricating synthetic diamond material via a chemical vapour deposition process; a fault detection system configured to detect a fault in the microwave generator unit which results in a reduction in the operating power output or a change in frequency; and a re-start system configured to restart the microwave generator unit in response to a fault being detected and recover the operating power output or frequency in a time period of less than 10 seconds after the fault in the microwave generator unit which caused the reduction in the operating power output or the change in frequency.
(FR) L'invention concerne un système de générateur à micro-ondes destiné à être utilisé dans un système de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma à micro-ondes (MPECVD), le système de générateur à micro-ondes comprenant : une unité de générateur à micro-ondes conçue pour produire des micro-ondes au niveau d'une puissance délivrée de fonctionnement appropriées pour la fabrication d'un matériau de diamant synthétique par l'intermédiaire d'un procédé de dépôt chimique en phase vapeur; un système de détection de défaillance conçu pour détecter une défaillance dans l'unité de générateur à micro-ondes qui se traduit par une réduction de la puissance délivrée de fonctionnement ou un changement de fréquence; et un système de redémarrage conçu pour redémarrer l'unité de générateur à micro-ondes en réponse à la détection d'une défaillance et pour récupérer la puissance délivrée de fonctionnement ou la fréquence dans un laps de temps inférieur à 10 secondes après la défaillance de l'unité de générateur à micro-ondes qui a provoqué la réduction de la puissance délivrée de fonctionnement ou le changement de fréquence.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)