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1. WO2017032503 - MICROENGINEERED SKIMMER CONE FOR A MINIATURE MASS SPECTROMETER

Publication Number WO/2017/032503
Publication Date 02.03.2017
International Application No. PCT/EP2016/066689
International Filing Date 13.07.2016
IPC
H01J 49/00 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
H01J 49/06 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
02Details
06Electron- or ion-optical arrangements
CPC
H01J 49/0013
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
0013Miniaturised spectrometers, e.g. having smaller than usual scale, integrated conventional components
H01J 49/0018
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
0013Miniaturised spectrometers, e.g. having smaller than usual scale, integrated conventional components
0018Microminiaturised spectrometers, e.g. chip-integrated devices, MicroElectro-Mechanical Systems [MEMS]
H01J 49/067
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
02Details
06Electron- or ion-optical arrangements
067Ion lenses, apertures, skimmers
Applicants
  • MICROSAIC SYSTEMS PLC [GB]/[GB]
Inventors
  • SYMS, Richard
Agents
  • HANNA MOORE + CURLEY
Priority Data
1515217.627.08.2015GB
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) MICROENGINEERED SKIMMER CONE FOR A MINIATURE MASS SPECTROMETER
(FR) CÔNE DE RÉCUPÉRATION MICROMÉCANIQUE POUR UN SPECTROMÈTRE DE MASSE MINIATURE
Abstract
(EN)
A method for forming a miniature skimmer cone for a free jet expansion vacuum interface is disclosed. The skimmer cone is formed from electroplated metal, deposited inside a blind hole formed on a silicon substrate. The substrate is partially removed to expose the skimmer cone, together with other features formed by etching, and an outlet orifice is formed. A complete miniature vacuum interface is formed from the stacked assembly of a part containing an inlet orifice, a spacer, and the part containing a skimmer cone described above, mounted in an intermediate pressure chamber at the inlet to a mass spectrometer.
(FR)
La présente invention concerne un procédé de formation d'un cône de récupération miniature pour une interface à vide à expansion de jet libre. Le cône de récupération est constitué d'un métal à revêtement électrolytique, déposé à l'intérieur d'un trou borgne formé sur un substrat de silicium. Le substrat est partiellement retiré de sorte à faire apparaître le cône de récupération, conjointement avec d'autres éléments formés par gravure, et un orifice de sortie est formé. Une interface à vide miniature complète est constituée de l'ensemble empilé d'une partie contenant un orifice d'entrée, d'un élément d'espacement, et de la partie contenant un cône de récupération susmentionné, monté dans une chambre de pression intermédiaire à l'entrée d'un spectromètre de masse.
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau